公开(公告)号：JP2016508200A

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：JP2015534805

申请日：2013-09-30

申请人： インテグリス・インコーポレーテッド

发明人： マーク・ラヴェルディエール ,  ジョン・ピー・プグリア ,  ベン・マイ・パク・リー ,  カルヤン・マドハヴァラム ,  クレッグ・ウォーレス・マートランド ,  ドミトリ・メン ,  ジェイ・カール・ニーマイヤー

IPC分类号： F16L19/02 ,  F16L19/04 ,  F16L25/00

CPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

摘要： 本開示は、流体連結用の連結システムに関する。さらにより詳細には、いくつかの実施形態は、半導体製造流体と共に使用するための流体連結に関する。連結システムは、ナット(110)の多条ねじを利用することにより連結ナットの360度未満の回転によって流体継手(112、114)を封止する連結ナット(110)を使用する。一実施形態によれば、連結ナットは、360度未満の回転により少なくとも360度にわたる螺合をもたらす。実施形態は、複数のポートを同時に封止し得る連結システムをさらに提供する。

摘要翻译： 本公开涉及一种用于流体耦合连接系统。 甚至更具体地，一些实施例涉及用于与半导体制造流体使用的流体耦合。 连接系统使用的螺母（110）连接螺母（110）通过利用多个线程以密封由小于360度连接螺母的旋转流体联接件（112，114）。 根据一个实施例，由小于360度的旋转经过至少360度耦合螺母导致接合。 实施例还提供了可以在同一时间密封所述多个端口被停止的耦合系统。