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公开(公告)号：JP5929881B2
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：JP2013255600
申请日：2013-12-11
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3075 , G02B27/0006 , G02B5/3058
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公开(公告)号：JP2015172648A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：JP2014048221
申请日：2014-03-11
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02F1/1337 , G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3058 , G02B5/30 , G02F1/133528 , G02F1/133788 , G02F2001/133548
摘要： 【課題】 より高性能で製造が容易であり、紫外線のような短波長域の光についても高い偏光性能が得られるグリッド偏光素子を提供する。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2は誘電体又は半導体で形成されており、グリッド2の各線状部21において一方の側のギャップ幅tと、他方の側のギャップ幅Tは、周期的に実質的にt
【選択図】 図1摘要翻译： 要解决的问题：提供一种制造容易且性能更高并且即使对于具有短波长区域的紫外线也能获得更高的极化性能的栅极偏振元件。解决方案：设置在透明基板上的带状栅极2 1由电介质体或半导体构成。 在栅格部分2的每个线性部分21中，一侧的间隙宽度t和另一侧的间隙宽度T周期性地基本上满足t
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公开(公告)号：JP2016071138A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：JP2014200161
申请日：2014-09-30
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02F1/1337 , G02B5/30
CPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1337
摘要： 【課題】 紫外域の光についての十分な偏光性能を発揮し得る吸収型のグリッド偏光素子において、グリッド材料自体が持つ光触媒作用による偏光性能の低下の問題を防止する。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2を構成する各線状部3は、第一の対象波長の光を吸収する第一の材料で形成された第一の層31と、第二の対象波長の光を吸収する第二の材料で形成された第二の層32と、第一の層31と第二の層32との間に設けられた第三の層33とを備える。第一の材料は酸化チタンのような光触媒作用を有する材料であり、第二の材料はシリコンのような被酸化性材料である。第三の層33は酸化シリコンで形成されたバリア層であり、紫外線照射時にオゾンや原子状酸素のような酸化性活性種が生成された場合でも、バリア層33により第二の層32の酸化が防止される。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：为了防止栅极材料本身在能够对紫外线区域发挥足够的极化性能的吸收型栅极偏振元件中具有的光催化作用而引起的极化性能的劣化。解决方案：构成 设置在透明基板1上的条纹格栅2包括由吸收第一目标波长的光的第一材料形成的第一层31，由吸收第二目标波长的光的第二材料形成的第二层32，以及 第三层33设置在第一层31和第二层32之间。第一材料是具有诸如氧化钛的光催化的材料，第二材料是可氧化材料如硅。 第三层33是由氧化硅形成的阻挡层。 即使当在紫外线照射期间产生氧化活性物质如臭氧或原子氧时，第二层32的氧化被阻挡层33阻止。图示：图1
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公开(公告)号：JP5862699B2
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：JP2014048221
申请日：2014-03-11
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02F1/1337 , G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3058 , G02B5/30 , G02F1/133528 , G02F1/133788 , G02F2001/133548
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公开(公告)号：JP2015222449A
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：JP2015178980
申请日：2015-09-10
申请人： ウシオ電機株式会社
摘要： 【課題】 より高性能で製造が容易であり、紫外線のような短波長域の光についても高い偏光性能が得られるグリッド偏光素子を提供する。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2は誘電体又は半導体で形成されており、グリッド2の各線状部21において一方の側のギャップ幅tと、他方の側のギャップ幅Tは、周期的に実質的にt
【選択図】 図1摘要翻译： 要解决的问题：提供一种即使在诸如紫外线的短波长区域的光下也能提供高偏振性能的高性能的易于制造的栅极偏振元件。解决方案：将条形的栅格2设置在 透明基板1由电介质或半导体制成。 与栅格2的每个直线部分21相比，一侧的间隙宽度t和另一侧的间隙宽度T周期性地大致为t
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公开(公告)号：JP5900571B1
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：JP2014200161
申请日：2014-09-30
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02F1/1337 , G02B5/30
CPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1337
摘要： 【課題】 紫外域の光についての十分な偏光性能を発揮し得る吸収型のグリッド偏光素子において、グリッド材料自体が持つ光触媒作用による偏光性能の低下の問題を防止する。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2を構成する各線状部3は、第一の対象波長の光を吸収する第一の材料で形成された第一の層31と、第二の対象波長の光を吸収する第二の材料で形成された第二の層32と、第一の層31と第二の層32との間に設けられた第三の層33とを備える。第一の材料は酸化チタンのような光触媒作用を有する材料であり、第二の材料はシリコンのような被酸化性材料である。第三の層33は酸化シリコンで形成されたバリア層であり、紫外線照射時にオゾンや原子状酸素のような酸化性活性種が生成された場合でも、バリア層33により第二の層32の酸化が防止される。 【選択図】 図1
摘要翻译： 公开能够在紫外区显示出足够的偏振性光，通过用栅格材料本身的光催化剂作用，以防止在偏振性能降低的问题的吸收型栅偏振器。 构成设置在A中的透明基板1-3，吸收所关注的第一波长的光的第一材料形成的第一层31上的条纹格栅2直线部 的材料形成的第二层32的第二吸收感兴趣的第二波长的光，所述第一层31和第二层32之间设置第三层33 配备了。 第一材料是具有光催化活性的材料，例如二氧化钛，所述第二材料是一种可氧化的材料，例如硅。 第三层33是即使在UV照射时，第二层32的势垒层33的氧化物时产生的氧化活性种如臭氧和氧原子的氧化硅形成的阻挡层， 有被阻止。 点域1
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公开(公告)号：JP2015121693A
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：JP2013265672
申请日：2013-12-24
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02B5/30
摘要： 【課題】 アスペクト比の高いグリッド偏光素子を製造する際の実用上の問題を解決し、高アスペクト比化を可能にすることで高い偏光性能が得られる高品質のグリッド偏光素子を提供する。 【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状のグリッド2を成す各線状部21の透明基板1とは反対側の端部には、各線状部21より大きな幅を有する倒壊防止キャップ3が設けられている。倒壊防止キャップ3は透明な材料で形成され、各線状部21は無機誘電体で形成されており、アスペクト比は7以上である。各線状部21のギャップ幅tは、紫外線を偏光させることができる幅とされる。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：为了提供能够通过解决制造具有高纵横比的栅极偏振元件的实际问题而能够获得高极化性能的高质量栅极偏振元件，并且可以实现增强的纵横比。解决方案：提供 在透明板1的与透明板1相对的一侧的边缘上，构成设置在透明板1上的条纹网格2的每个直线部分21是具有比每个直线部分21宽的宽度的防塌盖3。防塌盖3 由透明材料形成，并且每个直线部分21形成有无机电介质，纵横比为7或更大。 每个直线部分21的间隙宽度t被制成适合于使紫外线偏振的宽度。
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公开(公告)号：JP2015114440A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：JP2013255600
申请日：2013-12-11
申请人： ウシオ電機株式会社
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3075 , G02B27/0006 , G02B5/3058
摘要： 【課題】 酸化性ガスによる劣化を防止した構造とすることで紫外域の光の偏光用に好適に使用されるグリッド偏光素子を提供する。 【解決手段】 多数の線状部21より成る縞状のグリッド層2を透明基板1上に設けた構造のグリッド偏光素子は、紫外線を偏光させることが可能であり、グリッド層2は、酸素活性種やオゾンのような紫外線により生成される酸化性ガスを遮断するガス遮断層3で覆われている。ガス遮断層3は、偏光させる光の波長において透明である。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种优选用于紫外线区域的偏振光的栅极偏振元件，其具有防止氧化气体劣化的结构。解决方案：具有条纹形网格层2构成的结构的栅极偏振元件 设置在透明基板1上的多个线状部21可以使紫外线偏振。 栅极层2被用于切断由氧活性物质和臭氧等紫外线产生的氧化气体的气体截止层3覆盖。 气体截止层3在要偏振的光的波长处是透明的。
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