公开(公告)号：JP4563918B2

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：JP2005316038

申请日：2005-10-31

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  公立大学法人大阪府立大学

Inventor： 基 中尾 ,  純夫 小林 ,  敬志 横山 ,  勝俊 泉

IPC: H01L21/20

公开(公告)号：JP4713089B2

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：JP2004077384

申请日：2004-03-18

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 基 中尾 ,  純夫 小林 ,  敬志 横山 ,  勝俊 泉

IPC: H01L21/762 ,  H01L27/12 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/265 ,  H01L21/76

公开(公告)号：JP4690734B2

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：JP2005020628

申请日：2005-01-28

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  公立大学法人大阪府立大学

Inventor： 基 中尾 ,  純夫 小林 ,  敬志 横山 ,  勝俊 泉

IPC: C30B29/36 ,  C23C16/01 ,  C30B25/20 ,  H01L21/205

公开(公告)号：JP4511378B2

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：JP2005037039

申请日：2005-02-15

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  公立大学法人大阪府立大学

Inventor： 基 中尾 ,  純夫 小林 ,  敬志 横山 ,  勝俊 泉

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/42 ,  H01L21/20 ,  H01L27/12