公开(公告)号：JP3543167B2

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：JP7677296

申请日：1996-03-29

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  ダイネン株式会社 ,  大阪府

Inventor： 任 四谷 ,  一輝 夏川 ,  宣典 大森 ,  繁雄 後藤 ,  洋実 木山 ,  京博 森 ,  芳昭 櫻井 ,  勝美 西田 ,  俊紀 野坂

IPC: B01J20/20 ,  B01J19/08

公开(公告)号：JP3534518B2

公开(公告)日：2004-06-07

申请号：JP521396

申请日：1996-01-16

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 明 吉野 ,  宣典 大森 ,  秀彦 奥 ,  洋実 木山

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H01L21/324

公开(公告)号：JP3497317B2

公开(公告)日：2004-02-16

申请号：JP1436696

申请日：1996-01-30

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 明 吉野 ,  宣典 大森 ,  秀彦 奥 ,  篤 宮本 ,  洋実 木山

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H01L21/324