Patent search ap:("エドワーズ・バキューム・インコーポレーテッド") AND inv:"グレイム・ハントリー" Page 1

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发明专利
Combination-type vacuum pump load lock assembly 有权

公开(公告)号：JP4886207B2

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：JP2005111962

申请日：2005-04-08

Applicant: エドワーズ・バキューム・インコーポレーテッド

Inventor： グレイム・ハントリー , ニール・ジェフリー・ベルニー

IPC: F04B37/16 , F04C25/02 , F04B17/00 , F04B23/00 , F04D23/00 , F04D29/60

CPC classification number: F04D23/008 , F04D17/168 , F04D19/044 , F04D29/601

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