真空ポンプ
    2.
    发明专利
    真空ポンプ 有权
    真空泵

    公开(公告)号:JP2016050582A

    公开(公告)日:2016-04-11

    申请号:JP2015170141

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 【課題】 本発明の課題は、可能な限り簡単かつコンパクトに保たれた構造を保持しつつ、ポンプインレットの領域内に設けられたマグネット支承部室内へのプロセスガスの進入が防止されるものを提供することである。 【解決手段】 課題は、真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプ又はサイドチャネルポンプであって、ローター軸(14)を有するローター(12)、ステーター(16)、及び、ポンプインレット(18)の領域に設けられたマグネット支承部室(20)を有し、このマグネット支承部室内に、ローター軸(14)の回転可能なサポートの為にマグネット支承部(22)が配置されている真空ポンプにおいて、過剰圧力のシーリングガスによるマグネット支承部室(20)の付勢の為の手段が設けられていることによって解決される。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种真空泵,其能够防止工艺气体侵入到设置在泵入口的区域中的磁性支撑部分腔室中,同时保持尽可能简化和小型化的结构。解决方案:真空泵 (10),特别是包括具有转子轴(14)的转子(12),定子(16)和设置在区域上的磁性支撑部分室(20)的涡轮分子泵或侧通道泵 的泵入口(18),并且具有用于将转子轴(14)可旋转地支撑在磁性支撑部分室中的磁性支撑部分(22),还设置有用于通过磁性支撑部分(20)向磁性支撑部分腔室 密封气体过压。选择图:图1

    流体機械
    3.
    发明专利
    流体機械 有权
    流体机械

    公开(公告)号:JP2015536414A

    公开(公告)日:2015-12-21

    申请号:JP2015545740

    申请日:2013-11-28

    Abstract: 本発明の対象は、ハウジング(1)と、該ハウジング(1)内に配置されていて、ステータ(3)と、軸(5)に配置されたロータ(4)とを有する電動モータ(2)と、軸(5)により駆動され、ポンプハウジング(7)内に配置されていて、少なくとも1つの環列を成す複数の羽根室を画定する複数の回転羽根(11)を備えた少なくとも1つの羽根車(6)と、ポンプハウジング(7)内に配置されていて、それぞれ1つの環列を成す羽根室に向かい合って位置していて、ポンプ入口(13)からポンプ出口(14)にまで延びるサイドチャンネル(12)とを備えた流体機械である。サイドチャンネル(12)の終端部で、サイドチャンネル(12)の半径方向内側の半部(18)に、チャンネル底部(17)を始点として流れ方向でポンプハウジング壁(16)の高さにまで上昇する傾斜路(15)が配置されており、サイドチャンネル(12)が、その半径方向外側に位置する半部(19)で、ポンプ出口(14)に移行している。

    Abstract translation: 本发明包括一个壳体(1)和,位于所述定子(3)和布置在所述轴向转子内的壳体(1)(5)(4)具有电动机的(2) 当由轴(5),位于所述泵壳体(7)上被驱动,至少一个叶片具有限定形成至少一个环行的多个叶片室的多个旋转叶片(11) 汽车(6),位于每个位于所述叶片腔相对的泵壳体(7)上,以形成一个单一的环序列,从泵入口(13)延伸到泵出口(14)侧 的流体机械,其包括一个通道(12)。 增加在侧信道(12),所述径向内侧信道(12)(18)的半体的端部,直到流动通道底部(17)为起点的方向上的泵壳壁的高度(16) 斜面(15)被设置为侧信道(12),位于径向外侧的半部分(19),并且移动到所述泵出口(14)。

    Centrifugal fan
    6.
    发明专利
    Centrifugal fan 审中-公开
    离心风扇

    公开(公告)号:JP2013185440A

    公开(公告)日:2013-09-19

    申请号:JP2012048400

    申请日:2012-03-05

    CPC classification number: F04D17/16 F04D17/02 F04D23/008

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a centrifugal fan which is high in static pressure and excellent in air volume characteristics.SOLUTION: A centrifugal fan 100 includes an impeller 10 arranged to rotate about a rotation axis, a motor 30 arranged to drive to rotate the impeller, and a case arranged to accommodate the impeller and the motor. The case has an upper case 20, a lower case 21, and a joint portion 23 for fixing both cases 20 and 21. A first annular space 50 positioned radially outward of the motor is formed in the case. The first annular space has a space defined by an annularly continuous collection of virtual circles each of whose diameters is the shortest distance between an inner circumferential edge 23a of the joint portion and a radially outermost circumferential portion of a motor accommodating portion and each of which is in contact with the inner circumferential edge of the joint portion, and a second annular space 51 composed of the upper case and the lower case, and a part of the impeller is disposed in the second annular space.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种静压高,风量特性优异的离心式风扇。解决方案:离心式风扇100包括布置成围绕旋转轴线旋转的叶轮10,马达30被布置成驱动旋转 叶轮和布置成容纳叶轮和马达的壳体。 壳体具有上壳体20,下壳体21和用于固定两个壳体20和21的接合部分23.在壳体中形成位于电动机径向外侧的第一环形空间50。 第一环形空间具有由环形连续的虚拟圆圈组成的空间,每个虚拟圆圈的直径是接合部分的内周边缘23a和电动机容纳部分的径向最外周部分之间的最短距离, 与接合部的内周缘接触,以及由上壳体和下壳体构成的第二环状空间51,并且一部分叶轮设置在第二环状空间中。

    A vacuum pump having an improved pumping channel cross-section

    公开(公告)号:JP2010502875A

    公开(公告)日:2010-01-28

    申请号:JP2009526681

    申请日:2007-08-29

    CPC classification number: F04D23/008 F04D17/168 F04D19/04 F04D29/403

    Abstract: 【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
    【解決手段】真空ポンプは、吸入口および排出口を有するハウジングと、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージとを含む。 分子ドラッグステージは、分子ドラッグディスクの形態のロータと、当該ディスクの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータとを含み、ロータは回転軸を有する。 真空ポンプは、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータをさらに含んでいる。 チャネルは、回転軸からの距離の関数として寸法が変化する回転軸を含む平面における横断面を有している。 チャネル横断面は、粘性または部分粘性流条件中で逆流の傾向を制限するために選択される。
    【選択図】図7

    Improved type hybrid turbo molecular vacuum pump
    10.
    发明专利
    Improved type hybrid turbo molecular vacuum pump 审中-公开
    改进型混合涡轮分子真空泵

    公开(公告)号:JP2006316792A

    公开(公告)日:2006-11-24

    申请号:JP2006131808

    申请日:2006-05-10

    CPC classification number: F04D17/168 F04D19/046 F04D23/008

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump including no molecule dragging stage having a rotary disc provided with a flat pumping face or a rotary cylindrical drum.
    SOLUTION: This hybrid turbo molecular vacuum pump includes a housing having a take-in port and a discharge port, one axial direction flow stage or more including a stator provided inside the housing and having an inclined blade and an impeller having the inclined blade each, at least one additional vacuum pumping stage provided in the housing and not in the axial direction flow stage and including a stator and an impeller, and a motor for rotating the impeller to pump gas from the take-in port into the discharge port. The additional vacuum pumping stage may be an improved type molecule dragging stage in which the impeller includes a disc having a pumping face being rough or provided with a channel and/or a regeneration stage.
    COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种不包括具有设置有平坦抽吸面或旋转圆柱形鼓的旋转盘的分子拖动级的真空泵。 解决方案:该混合型涡轮分子真空泵包括具有吸入口和排出口的壳体,一个轴向流动台或更多的轴向流动台或更多的壳体,其包括设置在壳体内部的定子,并且具有倾斜叶片和具有倾斜的叶轮的叶轮 至少一个附加的真空泵送台,其设置在壳体中而不是在轴向流动台上,并且包括定子和叶轮;以及电动机,用于使叶轮旋转以将气体从吸入口泵送到排出口 。 额外的真空泵送阶段可以是改进的类型分子拖动阶段,其中叶轮包括具有粗糙的泵送面或具有通道和/或再生阶段的泵送面的盘。 版权所有(C)2007,JPO&INPIT

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