公开(公告)号：JP2013503452A

公开(公告)日：2013-01-31

申请号：JP2012527056

申请日：2010-08-28

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ジーン・ミロ ,  コーネリス・サンデル・クイマン ,  ヘンドリック・ヤン・デ・フォス ,  トム・ミラー

IPC: H01J37/147 ,  G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J3/26 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/3026 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/30416 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30461

Abstract: 荷電粒子ビームを導く改良された方法であり、１つまたは複数の偏向器信号を変化させることによって、荷電粒子がシステムを通過するのに要する時間を補償する方法。 本発明の一実施形態によれば、ＴＯＦエラーが原因で起こることがあるオーバシュート効果を低減させ、または排除するために、デジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）変換の前に、走査パターンをデジタル・フィルタにかける。 他の実施形態では、ＴＯＦエラーを補償するのに、アナログ・フィルタ、またはより低い帯域幅を有する信号増幅器の使用を使用することもできる。 走査パターンを変化させることによって、オーバシュート効果をかなり低減させ、または排除することができる。

公开(公告)号：JP5645335B2

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：JP2012527056

申请日：2010-08-28

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ジーン・ミロ ,  コーネリス・サンデル・クイマン ,  ヘンドリック・ヤン・デ・フォス ,  トム・ミラー

IPC: H01J37/147 ,  G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J3/26 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/3026 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/30416 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30461