Patent search ap:("エフ・イ−・アイ・カンパニー") AND inv:"トム・ミラー" Page 1

1.

发明专利
ＦＩＢパターニングを改良するためのパターン変更方式有权
Title translation: 对于改善FIB构图模式变化的方法

公开(公告)号：JP5645335B2

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：JP2012527056

申请日：2010-08-28

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ジーン・ミロ , コーネリス・サンデル・クイマン , ヘンドリック・ヤン・デ・フォス , トム・ミラー

IPC: H01J37/147 , G03F7/20 , H01J37/317 , H01L21/027

CPC classification number: H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/1477 , H01J37/3026 , H01J2237/1504 , H01J2237/1518 , H01J2237/1526 , H01J2237/30416 , H01J2237/3045 , H01J2237/30461

2.

发明专利
誘導結合プラズマ・イオン源用のプラズマ点火装置有权
Title translation: 用于感应耦合的等离子体离子源等离子体点火装置

公开(公告)号：JP5852769B2

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：JP2011018095

申请日：2011-01-31

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： アンソニー・グラウペラ , ショーン・ケロッグ , トム・ミラー , ダスティン・ラウル , ショウイン・ジャーン , アントニウス・バスティアヌス・ヴィルヘルムス・ディリワフター

IPC: H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/317 , H01J37/16 , C23C16/507 , H05H1/46 , H01J27/16

CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/24 , H05H1/36 , H01J2237/0815 , H01J2237/31749

3.

发明专利
ユーザが選択可能な複数の動作モードを有する荷電粒子ビーム・システム有权
Title translation: 的带电粒子束系统的用户具有多个可选择的操作模式

公开(公告)号：JP5744454B2

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：JP2010219435

申请日：2010-09-29

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ショウイン・ジャーン , トム・ミラー , ショーン・ケロッグ , アンソニー・グラウペラ

IPC: H01J37/04 , H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3005 , H01J37/3023 , H01J2237/006 , H01J2237/0458 , H01J2237/06366 , H01J2237/0815 , H01J2237/31749

4.

发明专利
Pattern change method for improving the Fib patterning 有权

公开(公告)号：JP2013503452A

公开(公告)日：2013-01-31

申请号：JP2012527056

申请日：2010-08-28

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ジーン・ミロ , コーネリス・サンデル・クイマン , ヘンドリック・ヤン・デ・フォス , トム・ミラー

IPC: H01J37/147 , G03F7/20 , H01J37/317 , H01L21/027

CPC classification number: H01J3/26 , H01J37/1472 , H01J37/1477 , H01J37/3026 , H01J2237/1504 , H01J2237/1518 , H01J2237/1526 , H01J2237/30416 , H01J2237/3045 , H01J2237/30461

Abstract: 荷電粒子ビームを導く改良された方法であり、１つまたは複数の偏向器信号を変化させることによって、荷電粒子がシステムを通過するのに要する時間を補償する方法。本発明の一実施形態によれば、ＴＯＦエラーが原因で起こることがあるオーバシュート効果を低減させ、または排除するために、デジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）変換の前に、走査パターンをデジタル・フィルタにかける。他の実施形態では、ＴＯＦエラーを補償するのに、アナログ・フィルタ、またはより低い帯域幅を有する信号増幅器の使用を使用することもできる。走査パターンを変化させることによって、オーバシュート効果をかなり低減させ、または排除することができる。