公开(公告)号：JP6483018B2

公开(公告)日：2019-03-13

申请号：JP2015530303

申请日：2012-09-06

Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

Inventor： ペーター フィッシャー ,  ゲラルト クラインドル ,  ヤーコプ ハーミング ,  クリスティーネ タナー ,  クリスティアン シェーン

IPC: B29C59/02 ,  B81C99/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2019145809A

公开(公告)日：2019-08-29

申请号：JP2019067241

申请日：2019-03-29

Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

Inventor： クリスティーネ タナー

IPC: B05D7/00 ,  B05D3/02 ,  B05D3/12 ,  B05D3/00 ,  B05D1/28 ,  B05C1/02 ,  H01L21/027

Abstract: 【課題】製品基板の部分的なコーティングを可能な限り少数の、とりわけ簡単な処理ステップでもって、廉価に実行することができる方法と装置を提供する。 【解決手段】少なくとも部分的に、とりわけ大部分が凹部に配置されている機能ユニットを有している製品基板3の隆起部5の、特に離散的な隆起部の隆起部表面5oをコーティングするための方法に関し、隆起部表面を支持体基板1に設けられているコーティング材料2と接触させるステップと、コーティング材料が製品基板3に部分的に残るように、支持体基板1を隆起部表面から分離させるステップとを備えている。 【選択図】図2d

公开(公告)号：JP2017130678A

公开(公告)日：2017-07-27

申请号：JP2017045239

申请日：2017-03-09

Applicant: エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

Inventor： ペーター フィッシャー ,  ゲラルト クラインドル ,  ヤーコプ ハーミング ,  クリスティーネ タナー ,  クリスティアン シェーン

IPC: B29C59/02 ,  H01L21/027

Abstract: 【課題】自動化および一層迅速なプロセス実行を保証することのできるようなマイクロパターン化および/またはナノパターン化のための装置および方法を提供する。 【解決手段】構造体スタンプ5がマイクロパターン化またはナノパターン化されたスタンプ面を有するフレキシブルなスタンプ1と、該スタンプを張設するフレーム3とを備え、型押し面に型押しパターンを型押し加工する装置が構造体スタンプを収容しかつ運動させるスタンプ収容部と、構造体スタンプに対向して型押し材料6を収容しかつ配置する型押し材料収容部と、型押しエレメント8を構造体スタンプに沿って運動させる型押しエレメント駆動装置とを備えている。 【選択図】図3