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1.发明专利
公开(公告)号：JP2003529312A
公开(公告)日：2003-09-30
申请号：JP2001571544
申请日：2001-03-23
Applicant: オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド
Inventor： サティンダーパル エス パンヌ , ベーラン ベヒン
CPC classification number: G02B6/357 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , B81C1/0015 , B81C1/00214 , B81C1/00396 , G02B6/3518 , G02B6/3524 , G02B6/3584 , G02B6/359 , G02B26/0833 , H02N1/008 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: (57)【要約】 多層垂直櫛形アクチュエータは、複数の第１櫛形フィンガーを有する第１櫛形構造体と、複数の第２櫛形フィンガーを有する第２櫛形構造体とを備え、それら第１及び第２の櫛形フィンガーは実質的に指を組んだ状態にされる。 第１及び第２の櫛形フィンガーは、絶縁層又はエアギャップにより互いに電気的に分離された２つ以上の積層された導電層を含む。 或いは、第１又は第２のいずれかの櫛形フィンガーが１つの導電層のみを含んでもよい。 第１及び第２の櫛形フィンガー間に電圧を印加すると、第２の櫛形構造体が第１の櫛形構造体に対して移動される。 本発明は、２つの軸に沿って可動素子を回転させる二次元ジンバル構成を含む。
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2.发明专利
公开(公告)号：JP2003529108A
公开(公告)日：2003-09-30
申请号：JP2001571547
申请日：2001-03-22
Applicant: オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド
Inventor： メン−シウン キアン , マイケル ジェイ デインマン , サティンダーパル パンヌ , ベーラン ベヒン , カム ワイ ラム
CPC classification number: G02B6/3556 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , B81B2207/07 , B81C1/00214 , G02B6/3512 , G02B6/3518 , G02B6/3542 , G02B6/3546 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B26/0833 , G02B26/085 , G02B26/0858 , G02B26/0866 , H02N1/008
Abstract: (57)【要約】 二次元スキャナは、垂直静電櫛形ドライブアクチュエータ及びセンサを有する回転可能なジンバル構造体より成る。 スキャナの２つの回転軸は、２組の垂直櫛形ドライブアクチュエータをアクチベートすることにより独立して制御することができる。 第１組の垂直櫛形ドライブアクチュエータは、ジンバル構造体の外側フレームとベースとの間に配置され、そして第２組の垂直櫛形ドライブアクチュエータは、ジンバル構造体の内側部分と外側フレームとの間に配置される。 ジンバル構造体の内側部分は、反射面を含み、そしてデバイスは、ミラーとして使用される。 更に、垂直櫛形ドライブのキャパシタンスを測定して、ミラーの角度位置を監視することができ、そして容量性位置監視信号を使用して、ミラー角度の閉ループフィードバック制御を実施することができる。 二次元スキャナは、半導体プロセスで製造することができる。 二次元スキャナを使用して、光ファイバスイッチを形成することができる。
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