公开(公告)号：JP2015147930A

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：JP2015047428

申请日：2015-03-10

Applicant: オプティチューン オサケ ユキチュア

Inventor： アリ カルカイネン ,  ミリヤ ハンヌクーレ ,  サシャ レグランド ,  アミル ハドジク ,  グラエメ ゴードン

IPC: C08G77/04 ,  C08G59/20

CPC classification number: C08L83/06 ,  C09D183/04 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757 ,  C08K5/49

Abstract: 【課題】ネガティブトーンリソグラフィー加工プロセスにおける使用に適した特性を有するシロキサンポリマー組成物を提供する。 【解決手段】塩基性水溶液中で脱プロトン化可能な基を示し、更に熱又は放射線で開始される硬化工程中に反応可能な反応性官能基を示す骨格を有するシロキサンプレポリマーと、光反応性化合物および溶媒を含むシロキサンポリマー組成物。該組成物は,リソグラフィー製法の現像工程に水系現像剤システムを適用するネガティブトーンリソグラフィー加工工程に使用可能である。 【選択図】なし

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种具有适用于负色调平版印刷制造工艺的性质的硅氧烷聚合物组合物。解决方案：硅氧烷聚合物组合物包含：具有显示基团的主链的硅氧烷预聚物，其能够在碱性水溶液中脱质子化 溶液和显示反应性官能团，其能够在热或辐射引发的固化过程中反应; 光反应性化合物; 和溶剂。 该组合物可以用于负光刻平版印刷制造工艺，其中在平版印刷生产方法的显影过程中应用水基显影剂体系。

公开(公告)号：JP5766440B2

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：JP2010535419

申请日：2008-11-28

Applicant: オプティチューン オサケ ユキチュア

Inventor： アリ カルカイネン ,  ミリヤ ハンヌクーレ ,  サシャ レグランド ,  アミル ハドジク ,  グラエメ ゴードン

IPC: C08L83/07 ,  C08G59/20 ,  C08G77/14 ,  C08G77/20 ,  G03F7/075 ,  G03F7/32 ,  G03F7/38 ,  C08L83/06

CPC classification number: C08L83/06 ,  C09D183/04 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757 ,  C08K5/49

公开(公告)号：JP2017197757A

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：JP2017107777

申请日：2017-05-31

Applicant: オプティチューン オサケ ユキチュア

Inventor： アリ カルカイネン ,  ミリヤ ハンヌクーレ ,  サシャ レグランド ,  アミル ハドジク ,  グラエメ ゴードン

IPC: C08G59/20 ,  C08K3/00 ,  G03F7/075 ,  G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  G03F7/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/22 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/20 ,  C08L83/04

CPC classification number: C08L83/06 ,  C09D183/04 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757 ,  C08K5/49

Abstract: 【課題】水性の塩基性現像剤システム用のネガティブトーンシロキサンポリマー組成物の提供。 【解決手段】塩基性水溶液中で脱プロトン化可能な官能基と熱又は放射線で開始される硬化工程中に反応可能な官能基とを有する平均分子量が約500〜20,000g/mol、特に約1000〜10000g/molのシロキサンプレポリマーと、溶媒と、光反応性化合物と、含むシロキサン組成物。オルガノシロキサンポリマーが脱プロトン化可能基を1個以上備えるモノマーに由来する単位を1モル%以上、好ましくは、5モル%以上含有することが望ましいシロキサン組成物。固体濃度が、好ましくは1〜70重量%であるシロキサン組成物。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP5902216B2

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：JP2014040694

申请日：2014-03-03

Applicant: オプティチューン オサケ ユキチュア

Inventor： アリ カルカイネン

IPC: C09D183/14 ,  H01L21/47 ,  C08G77/50

CPC classification number: G03F1/46 ,  C08G77/52 ,  C09D183/14 ,  C09D5/006 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/091 ,  H01L21/02118

公开(公告)号：JP5707042B2

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：JP2009551234

申请日：2008-02-26

Applicant: オプティチューン オサケ ユキチュア

Inventor： アリ カルカイネン

IPC: C08L83/04 ,  C08K5/05 ,  C08G77/06

CPC classification number: C09D183/04 ,  C08G77/04 ,  C08G77/06 ,  C08G77/20 ,  C08G77/18