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发明专利
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系有权

公开(公告)号：JP6343344B2

公开(公告)日：2018-06-13

申请号：JP2016533545

申请日：2014-11-13

申请人： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

发明人： デギュンターマルクス , ダヴィデンコウラディミール , コルブトーマス , シュレセナーフランク , ヒルトステファニー , ホーゲルウルフガング

IPC分类号： G02B19/00 , G02B26/02 , G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70058 , G02B26/0833 , G03F7/70066 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70191 , G03F7/70425