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公开(公告)号：JP5222142B2
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：JP2008529537
申请日：2006-09-06
Applicant: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー , アプライド マテリアルズ イスラエル, エルティーディー.
Inventor： カサレス、アントニオ , ニッペルマイヤー、ライナー , ケメン、トーマス , バイヤー、トーマス , フリッツ、ゲオルグ , グレシュナー、ヨハン , カルト、サミュエル
IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/04924 , H01J2237/04926 , H01J2237/15 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/2561 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
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公开(公告)号：JP2009507351A
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：JP2008529537
申请日：2006-09-06
Applicant: アプライド マテリアルズ イスラエル, エルティーディー. , カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
Inventor： カサレス、アントニオ , カルト、サミュエル , グレシュナー、ヨハン , ケメン、トーマス , ニッペルマイヤー、ライナー , バイヤー、トーマス , フリッツ、ゲオルグ
IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/04924 , H01J2237/04926 , H01J2237/15 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/2561 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本発明は、第１の多孔プレートと、第１の多孔プレートとの間に間隙を形成する第２の多孔プレートとを含む粒子光学部品であって、第１の多孔プレートの複数の開孔が、第１の多孔プレートの複数の開孔の各開孔が第２の多孔プレートの複数の開孔の対応する開孔と整列されるように配置され、前記間隙が第１の位置において第１の幅を有し、第２の位置において第２の幅を有し、第２の幅が第１の幅よりも少なくとも５％だけ大きい粒子光学部品に関する。 また、本発明は、このような部品を含む荷電粒子システム及び荷電粒子装置、並びに、曲面を有する多孔プレートの製造方法に関する。
【選択図】 図６-
公开(公告)号：JP5728660B2
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：JP2012168303
申请日：2012-07-30
Inventor： カサレス、アントニオ , ニッペルマイヤー、ライナー , ケメン、トーマス , バイヤー、トーマス , フリッツ、ゲオルグ , グレシュナー、ヨハン , カルト、サミュエル
IPC: H01J37/04 , H01J37/28 , H01J37/145 , H01J37/12 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/04924 , H01J2237/04926 , H01J2237/15 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/2561 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774 , H01J37/244
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