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    荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置
    3.
    发明专利
    荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2016174891A1

    公开(公告)日：2017-10-26

    申请号：JP2017515399

    申请日：2016-02-08

    Applicant: 国立大学法人名古屋大学

    Inventor： 忠寛 川▲崎▼ ,  忠寛 川▲崎▼ ,  敬義 丹司 ,  敬義 丹司 ,  孝 生田 ,  孝 生田

    IPC: H01J37/153

    CPC classification number: H01J37/145 ,  H01J37/153

    Abstract: 【課題】荷電粒子ビーム用の電磁レンズは正の球面収差をもたらす。その球面収差を補正するには複雑な電磁レンズの組み合わせが必要であった。【解決手段】荷電粒子ビームの入射側に配置する入射プレートに円形開孔または円環開孔の一方を形成し、射出側に配置するプレートに円形開孔または円環開孔の他方を形成し、入射プレートと射出プレートの間に電圧を加える。すると円環開孔に形成される電場が、正の球面収差を解消する発散をもたらす。極めて単純であって容易に実施できる構造によって球面収差を補正することができる。

    荷電粒子線装置
    4.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开
    一种带电粒子束装置

    公开(公告)号：JPWO2015015957A1

    公开(公告)日：2017-03-02

    申请号：JP2015529460

    申请日：2014-06-25

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 恒典 野間口 ,  寿英 揚村 ,  ゾリフマ ヤセンジャン

    IPC: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/22 ,  H01J37/226 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14

    Abstract: 荷電粒子線装置において、対物レンズ内部の試料に極力近い位置で、試料から放出された荷電粒子を効率良く取得する。荷電粒子によって発光するシンチレータを備えた荷電粒子受光面(105)と、シンチレータから放出された光を検出するフォトディテクタ(107)と、シンチレータから放出された光をフォトディテクタ(107)に導くミラー(108)と、荷電粒子線を試料に集束するための対物レンズ(100)とを備え、荷電粒子受光面(105)とミラー(108)との距離Lsmが、フォトディテクタ(107)とミラー(108)との距離Lpmよりも長く、荷電粒子受光面(105)、ミラー(108)、及びフォトディテクタ(107)が対物レンズ(100)内部に格納されている。

    Abstract translation: 的带电粒子束的装置，在尽可能接近到试样物镜内部的位置，有效地获取从样品发射的带电粒子。 反射镜引导具有用于检测来自所述闪烁器发出的光，从所述闪烁器发射到光检测器（107）（108）的光的闪烁体，其通过带电颗粒（105）发射光，和光检测器（107）的带电粒子接收表面 时，对于带电粒子束聚焦到样品的物镜（100），所述距离最小二乘法带电粒子接收表面（105）和反射镜（108），光电检测器（107）和反射镜（108） 比LPM距离长，带电粒子接收表面（105），反射镜（108），和光电检测器（107）被存储在内部物镜（100）。

    Charged particle beam drawing method and charged particle beam drawing device
    7.
    发明专利
    Charged particle beam drawing method and charged particle beam drawing device 有权
    充电颗粒光束绘图方法和充电颗粒光束绘图装置

    公开(公告)号：JP2014049545A

    公开(公告)日：2014-03-17

    申请号：JP2012190173

    申请日：2012-08-30

    Applicant: Nuflare Technology Inc ,  株式会社ニューフレアテクノロジー

    Inventor： OGASAWARA MUNEHIRO ,  HIGASHIYA TAKANAO ,  TAMAMUSHI SHUICHI

    IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305

    CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/145 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31774

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drawing method which allows for drawing of a pattern to a desired position, even if a rotational error is occurring in a stage.SOLUTION: A charged particle beam drawing method includes a step for measuring the positional deviation of a stage, on which a sample is mounted, in the rotational direction, and a step for drawing the pattern of a beam image on a sample placed on the stage, while rotating the beam image so that a charged particle beam passing through a plurality of electromagnetic lenses is not defocused, and the amount of positional deviation of a stage in the rotational direction thus measured is corrected, using a plurality of electrostatic lenses at least one of which is arranged in each of the plurality of electromagnetic lenses having a magnetic field in reverse direction.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种允许将图案拉伸到期望位置的绘图方法，即使在阶段中发生旋转误差。解决方案：带电粒子束拉制方法包括测量位置偏差的步骤 在旋转方向上安装有样品的载物台和用于在放置在载物台上的样品上绘制束图像的图案的步骤，同时旋转束图像，使得通过多个 电磁透镜不散焦，并且使用多个静电透镜中的至少一个布置在具有磁场的多个电磁透镜中的多个静电透镜中来校正舞台在如此测量的旋转方向上的位置偏移量 相反方向。

    Objective lens for electron microscope system and electron microscope system
    9.
    发明专利
    Objective lens for electron microscope system and electron microscope system 有权
    电子显微镜系统和电子显微镜系统的目标镜头

    公开(公告)号：JP2011222525A

    公开(公告)日：2011-11-04

    申请号：JP2011132388

    申请日：2011-06-14

    Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

    Inventor： DURCK PRAYCSTWARSS ,  STEIGERWALD MICHAEL ,  PETER HOFFROGGE ,  PETER GNAUCK

    IPC: H01J37/145 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

    CPC classification number: H01J37/145 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an objective lens for an electron microscope system requiring a smaller space and having a minimum magnetic field outside the objective lens, and to provide an improved inspection system for performing image formation for a subject and manipulation of the subject simultaneously.SOLUTION: A pole-piece device for generating a focusing magnetic field having an inner pole piece 111 and an outer pole piece 112 and a pole-piece gap 119 formed therebetween, a beam pipe 113 that is substantially rotation-symmetric with respect to an optical axis 101, has a lower end that stretches along the optical axis 101 inside the inner pole piece 111, a terminal electrode 114 provided by separating it from the lower end of the beam pipe 113, and an electrode device for generating a focusing electrostatic field are comprised to use magnetic-field focusing and electrostatic focusing for forming an image of an object that can be arranged on an object plane.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于需要较小空间并且具有物镜外部的最小磁场的电子显微镜系统的物镜，并且提供用于对被摄体进行图像形成和改进的操作的改进的检查系统 同时进行。 解决方案：一种用于产生聚焦磁场的极片装置，具有形成在其间的内极片111和外极片112和极片间隙119，梁管113基本上相对于 光轴101具有沿着内极片111内的光轴101延伸的下端，通过将其从梁管113的下端分离而设置的端子电极114和用于产生聚焦的电极装置 静电场包括使用磁场聚焦和静电聚焦来形成可以布置在物平面上的物体的图像。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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