Patent search ap:("アプライドマテリアルズイスラエル Page エルティーディー." OR "カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー") AND inv:"ケメン、トーマス"

1.

发明专利
Charged particle inspection method and a charged particle system 有权

公开(公告)号：JP2009507352A

公开(公告)日：2009-02-19

申请号：JP2008529538

申请日：2006-09-06

Applicant: アプライドマテリアルズイスラエル, エルティーディー. , カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー

Inventor： ケメン、トーマス , シューベルト、ステファン , ニッペルマイヤー、ライナー

IPC: H01J37/147 , H01J37/305

CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/04924 , H01J2237/04926 , H01J2237/15 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/2561 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774

Abstract: 本発明は、荷電粒子システムに関する。荷電粒子システムは、荷電粒子源、第１の多孔プレート、第１の多孔プレートの下流に配置される第２の多孔プレート、及び第１及び第２の多孔プレート間に少なくとも第１及び第２の電圧差を選択的に印加するように構成される制御器を含む。荷電粒子源並びに前記第１及び第２の多孔プレートは、複数の荷電粒子ビームレットのそれぞれが開孔対を通るように配置され、開孔対は、第１の多孔プレートの１つの開孔及び第２の多孔プレートの１つの開孔を含み、複数の開孔対は、第１の多孔プレートの開孔の中心が、第１の多孔プレートの開孔を通る荷電粒子ビームレットの入射方向から見た場合に、第２の多孔プレートの開孔の中心に対してずれるように配置される。本発明は、一組の荷電粒子ビームレットの発散性を変更するように構成される粒子光学部品、及び異なる数の荷電粒子ビームレットを使用する物体の検査を含む荷電粒子検査方法にさらに関する。
【選択図】図４

2.

发明专利
The particle-optical component 有权

公开(公告)号：JP2009507351A

公开(公告)日：2009-02-19

申请号：JP2008529537

申请日：2006-09-06

Applicant: アプライドマテリアルズイスラエル, エルティーディー. , カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー

Inventor： カサレス、アントニオ , カルト、サミュエル , グレシュナー、ヨハン , ケメン、トーマス , ニッペルマイヤー、ライナー , バイヤー、トーマス , フリッツ、ゲオルグ

IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12

CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/04922 , H01J2237/04924 , H01J2237/04926 , H01J2237/15 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/2561 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774

Abstract: 本発明は、第１の多孔プレートと、第１の多孔プレートとの間に間隙を形成する第２の多孔プレートとを含む粒子光学部品であって、第１の多孔プレートの複数の開孔が、第１の多孔プレートの複数の開孔の各開孔が第２の多孔プレートの複数の開孔の対応する開孔と整列されるように配置され、前記間隙が第１の位置において第１の幅を有し、第２の位置において第２の幅を有し、第２の幅が第１の幅よりも少なくとも５％だけ大きい粒子光学部品に関する。また、本発明は、このような部品を含む荷電粒子システム及び荷電粒子装置、並びに、曲面を有する多孔プレートの製造方法に関する。
【選択図】図６