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公开(公告)号：JP2016091004A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：JP2015163162
申请日：2015-08-20
申请人： キヤノン株式会社
摘要： 【課題】 Z方向の試料の分布情報を迅速に取得することができる非線形光学顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 非線形光学顕微鏡装置100は、レーザー光を集光したスポットとして試料5に照射する照射手段1と、スポットの照射位置をXY方向に走査するXY走査手段と、スポットの照射位置から発せられる光を検出する光検出手段3と、を有する。非線形光学顕微鏡装置100は、選択されたn種(nは2以上の整数)の波長のレーザー光を用いて、XY走査手段によってスポットを走査してn個の2次元分布データを取得する。非線形光学顕微鏡装置100は、スポットの照射位置をZ方向に走査するZ走査手段をさらに有し、選択されたm種(m
【選択図】 図1摘要翻译： 要解决的问题：提供能够快速获取Z方向上的样品的分布信息的非线性光学微观系统。解决方案：非线性光学微观系统100包括照射装置1，其照射具有激光的样品5作为聚焦点 扫描XY方向的光点的照射位置的XY扫描装置以及检测从光点的照射位置发出的光的光检测装置3。 非线性光学微观系统100使用选定波长的n种（n为等于或大于2的整数）的激光，并通过XY扫描装置扫描该点以获取n条二维分布数据。 非线性光学微观系统100还包括Z扫描装置，用于扫描光点在Z方向上的照射位置，并使用波长为m（m小于等于或等于1的整数）的激光， 通过Z扫描手段对斑点进行扫描，以获得沿Z扫描方向的光强度的一维分布数据。图1：
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公开(公告)号：JP2015087236A
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2013225691
申请日：2013-10-30
申请人： キヤノン株式会社
CPC分类号： H01J49/0004 , H01J49/0031 , H01J49/40
摘要： 【課題】凹凸のある試料に広がりのあるイオン化ビームを照射した際に生じる二次イオンの飛行時間ばらつきを補正し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。 【解決手段】投影TOF型の質量スペクトル分布情報取得方法であって、第一のイオン化ビームを試料に照射し、それにより試料から発生する二次イオンについて第一の質量スペクトル分布情報を取得する第一の工程と、第二のイオン化ビームを試料表面に照射し、それにより試料から発生する二次イオンについて第二の質量スペクトル分布情報を取得する第二の工程と、第一の質量スペクトル分布情報を用いて、第二の質量スペクトル分布情報を補正する第三の工程からなり、該第三の工程が、第一の質量スペクトル分布情報における任意のピークの検出時刻分布に基づいて、第二の質量スペクトル分布情報における二次イオンの飛行時間分布情報を補正することを含む方法。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种质量分布分析方法，其能够校正用扩散电离束照射不均匀样品时产生的二次离子的飞行时间变化，并测量高可靠性质量分布。解决方案： 获取投影TOF类型的质谱分布信息包括：第一步骤，通过用第一电离束照射样品，获取从样品产生的二次离子的第一质谱分布信息; 第二步骤，通过用第二电离离子照射样品的表面来获取从样品产生的二次离子的第二质谱分布信息; 以及使用所述第一质谱分布信息来校正所述第二质谱分布信息的第三步骤。 第三步还包括基于第一质谱分布信息中的任何峰值的检测时间分布来校正第二质谱分布信息中的二次离子的飞行时间分布信息的步骤。
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公开(公告)号：JP2016143482A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015016662
申请日：2015-01-30
申请人： キヤノン株式会社
摘要： 【課題】大気中で、固体試料面上の異なった微小領域の成分を混濁することなく分離することのできるイオン化装置、並びに、そのイオン化装置を使用する質量分析装置及び画像形成システムを提供する。 【解決手段】本発明のイオン化装置は、試料を保持する保持台、前記保持台に保持されている前記試料のイオン化する部分を決めるためのプローブ、前記試料のイオン化したイオンを引き出す引出電極、前記試料の一部領域に液体を供給する液供給手段、前記プローブと前記引出電極との間に第一の電圧を印加する手段、及び前記プローブと前記保持台との間に第二の電圧を印加する手段、を有し、前記第二の電圧をパルス変調することを特徴とする。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供能够在大气中分离固体样品表面上的不同微区域中的组分而不混浊的离子发生器，并提供使用离子发生器的质谱仪和成像系统。解决方案：电离器具有 用于保持样品的保持基座，用于确定保持在保持基座上的样品被离子化的部分的探针，用于提取离子化样品的提取电极，用于向样品的部分区域供应液体的液体供给装置 用于在所述探针和所述提取电极之间施加第一电压，以及用于在所述探针和所述保持基座之间施加第二电压并且执行所述第二电压的脉冲调制的装置。图1
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公开(公告)号：JP2015087237A
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2013225694
申请日：2013-10-30
申请人： キヤノン株式会社
IPC分类号： G01N27/64 , H01J49/40 , H01J37/252 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/0004 , G01N23/2258 , H01J49/0031 , H01J49/40
摘要： 【課題】広がりのあるイオン化ビームを試料に斜めに照射した際に生じる二次イオンの発生時刻ばらつきを補正し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。 【解決手段】投影TOF型の質量スペクトル分布情報取得方法であって、第一のイオン化ビームを試料表面に照射し、それにより試料から発生する二次イオンについて第一の質量スペクトル分布情報を取得する第一の工程と、第二のイオン化ビームを試料表面に照射し、それにより試料から発生する二次イオンについて第二の質量スペクトル分布情報を取得する第二の工程と、第一の質量スペクトル分布情報を用いて第二の質量スペクトル分布情報を補正する第三の工程からなり、該第三の工程が、第一の質量スペクトル分布情報に基づいて、第二の質量スペクトル分布情報における二次イオン発生時刻の遅延分布を補正することを含む方法。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种质量分布分析方法，其能够校正当用扩散电离束倾斜照射样品时产生的二次离子的发生时间变化，并测量高可靠性质量分布。解决方案：一种用于获取质谱的方法 投影TOF类型的分布信息包括：第一步骤，通过用第一电离束照射样品的表面来获取从样品产生的二次离子的第一质谱分布信息; 第二步骤，通过用第二电离离子照射样品的表面来获取从样品产生的二次离子的第二质谱分布信息; 以及使用所述第一质谱分布信息来校正所述第二质谱分布信息的第三步骤。 第三步还包括基于第一质谱分布信息来校正第二质谱分布信息中的二次离子发生时间的延迟分布的步骤。
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公开(公告)号：JP2016128789A
公开(公告)日：2016-07-14
申请号：JP2015003581
申请日：2015-01-09
申请人： キヤノン株式会社
摘要： 【課題】 プローブの従来よりも大きな変位を計測可能なプローブ変位計測装置を提供する。 【解決手段】 プローブ変位計測装置1は、片持ち梁状のプローブ11と、プローブ11に光を照射する光照射手段12と、光照射手段12によって照射され、プローブ11の表面にて反射された反射光105をスポットとして受光する受光素子14を有する。プローブ変位計測装置1はさらに、受光素子14が受光する反射光105のスポットの光量を、反射光105のスポットの受光素子14上における変位方向に沿って変化させる光量変化手段を有する。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够测量大于以前的探头的位移的探针位移测量装置。解决方案：探针位移测量装置1包括：悬臂状探针11; 用于用光照射探针11的光照射装置12; 由光照射装置12照射的光接收元件14，并将以探针11的表面反射的反射光105接收为点; 并且还包括光量改变装置，用于改变由光接收元件14接收的反射光105的光点在光接收元件14上的反射光105的光斑位移方向上的光量。 图1
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公开(公告)号：JP2016128788A
公开(公告)日：2016-07-14
申请号：JP2015003580
申请日：2015-01-09
申请人： キヤノン株式会社
CPC分类号： H01J49/061 , G01B11/26 , H01J49/0004 , H01J49/0431 , H01J49/12
摘要： 【課題】 プローブの従来よりも大きな変位を計測可能なプローブ変位計測装置を提供する。 【解決手段】 プローブ変位計測装置1は、片持ち梁状のプローブ11と、プローブ11に光を照射する光照射手段12と、光照射手段12によって照射され、プローブ11の表面にて反射された反射光105をスポットとして受光する受光素子14を有する。また、プローブ変位計測装置1は、受光素子14上におけるスポットの位置に基づいてプローブ11の変位を取得する変位取得手段15を有する。受光素子14は、直線状の分割線141によって分割された第1の受光面14aと第2の受光面14bとを有し、スポットの受光素子14上における変位方向と分割線141とがなす角が、0°より大きく90°より小さい。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够测量大于以前的探头的位移的探针位移测量装置。解决方案：探针位移测量装置1包括：悬臂状探针11; 用于用光照射探针11的光照射装置12; 由光照射装置12照射的光接收元件14，并将以探针11的表面反射的反射光105接收为点; 以及位移获取装置15，用于基于光接收元件14上的光斑的位置来获取探针11的位移。光接收元件14具有第一光接收表面14a和第二光接收表面14b，第一光接收表面14a和第二光接收表面14b 由线分割线141分割，并且由光接收元件14和分割线141上的光斑的位移方向形成的角度大于0°且小于90°。选择的图示：图1
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公开(公告)号：JP2016075574A
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：JP2014206015
申请日：2014-10-06
申请人： キヤノン株式会社
发明人： 教學 正文
CPC分类号： H01J37/261 , H01J37/256 , H01J49/0004 , H01J2237/248 , H01J2237/2527
摘要： 【課題】 観察領域を移動させながら観察するときに、観察領域の移動に追随して迅速に解析結果を表示することが可能となる質量顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 質量顕微鏡装置100は、観察領域32に含まれる試料31からイオン33を発生させるイオン化部1と、イオン化部1によって発生させたイオン33の質量分析を行う質量分析部2と、観察領域32を移動させる移動手段4と、移動手段4とイオン化部1または質量分析部2とを連動可能に制御する制御部6と、を有する。制御部6は、移動手段4により観察領域32を移動させて順次計測する観察領域32の移動時と、観察領域32を静止させて計測する観察領域32の静止時とで、異なる計測条件に切り替えるように、イオン化部1または質量分析部2または移動手段4を制御する。 【選択図】 図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种质量显微镜装置，其能够在观察观察时观察区域的移动后快速显示分析结果。解调：质量显微镜装置100具有：产生离子的离子化单元1 33包括在观察区域32中的样本31; 实现由电离单元1产生的离子33的质量分析的质量分析单元2; 使观察区域32移动的移动单元4; 以及以能够互锁的方式控制移动装置4和电离单元1或质量分析单元2的控制单元6。 控制单元6被配置为控制电离单元1，质量分析单元2或移动装置4，以便在观察区域32的运动时间之间切换到不同的测量条件，以通过使运动装置 4以通过固定观察区域32移动观察区域32和待测量的观察区域32的固定时间。图1
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公开(公告)号：JP5885474B2
公开(公告)日：2016-03-15
申请号：JP2011251552
申请日：2011-11-17
申请人： キヤノン株式会社
IPC分类号： H01J49/40 , H01J49/06 , H01J37/252 , G01N27/62 , H01J49/10
CPC分类号： H01J49/14 , G01N23/2258 , H01J49/0004 , H01J49/0031 , H01J49/06 , H01J49/142 , H01J49/40
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公开(公告)号：JP2021189445A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2021083966
申请日：2021-05-18
申请人： キヤノン株式会社
摘要： 【課題】安定した導電性を示す導電性弾性体の提供。 【解決手段】第1のイオン導電性ゴムの架橋物と第2のイオン導電性ゴムの架橋物と脂肪酸及び脂肪酸金属塩の少なくとも一方とを含む導電性弾性体であって、第1のイオン導電性ゴムの架橋物を含むマトリックス12と第2のイオン導電性ゴムの架橋物を含むドメイン11とを有し、第2のイオン導電性ゴムの架橋物はポリエーテル骨格を有し、ドメインの電気抵抗はマトリックスよりも低く、波形分離プロファイルにおいて、脂肪酸に由来のピークをP1、脂肪酸金属塩に由来のピークをP2、第2のイオン導電性ゴムの架橋物由来のピークをP3、P1及びP2のピーク面積の総和をA1、P3のピーク面積をA2とし、弾性体における該第2のイオン導電性ゴムの架橋物の含有量をC1、脂肪酸及び該脂肪酸金属塩の含有量をC2としたとき、次式関係を満たす:0.005≦(A2×C2/A1×C1)≦0.030 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6230282B2
公开(公告)日：2017-11-15
申请号：JP2013123212
申请日：2013-06-11
申请人： キヤノン株式会社
CPC分类号： H01J37/261 , H01J49/0004 , H01J49/142 , H01J2237/08 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J49/0468
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