公开(公告)号：JP2020161557A

公开(公告)日：2020-10-01

申请号：JP2019056967

申请日：2019-03-25

Applicant: グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 ,  国立大学法人 熊本大学

Inventor： 宮下 守也 ,  前田 貴弘 ,  久保田 弘 ,  鈴木 裕巳 ,  橋新 剛 ,  小林 一博 ,  葛川 翔太郎 ,  松山 浩輝 ,  熊谷 祐希 ,  古田 正昭

IPC: G01R27/26 ,  H01L21/66

Abstract: 【課題】プローブ電極と試料表面間のギャップ幅を正しく計測し、それにより試料の電気特性の測定精度を向上する。 【解決手段】パルス光伝導法によるプローブ電極から試料への印加電圧V(t)と、前記試料の充電電圧v(t)と、の充電電圧比v(t)/V(t)を実測する工程と、電極全体と試料表面間の傾きθを考慮したギャップ幅Wに対する充電電圧比v(t)/V(t)の理想曲線を求める工程と、前記充電電圧比v(t)/V(t)の実測値と理想曲線とが一致する傾きθを特定する工程と、前記傾きθを考慮したギャップ容量C gap を求める工程と、を備える。 【選択図】図1