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公开(公告)号：JP2021157545A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020057686
申请日：2020-03-27
申请人： ローム株式会社
发明人： 嶋田 雄二
摘要： 【課題】チップ面積を削減した容量検出回路を提供する。 【解決手段】容量検出回路200のセンスピンSNSには、センサ電極SEが接続される。第1駆動部212は、センスピンSNSにハイ電圧またはロー電圧を印加する。第2駆動部214は、基準キャパシタCrの第1端e1にハイ電圧またはロー電圧を印加する。第3駆動部216は、基準キャパシタCrの第2端e2にハイ電圧またはロー電圧を印加する。第1スイッチSW11は、センスピンSNSと基準キャパシタCrの第1端e1の間に設けられる。第2スイッチSW12は、後段回路ブロックの入力と基準キャパシタCrの第1端e1の間に設けられる。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JPWO2021014604A1
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2019028983
申请日：2019-07-24
申请人： 東芝三菱電機産業システム株式会社
发明人： 山口 治之
摘要： 実施形態のキャパシタ診断装置は、センサと、周波数スペクトル解析部と、周波数成分抽出部と、診断処理部とを備える。センサは、直流リンクに対して並列に接続されるキャパシタによって平滑化された直流電力を力行運転によって交流電力に変換する電力変換ユニットにおける前記キャパシタに流れる電流によって変化する物理量を検出する。周波数スペクトル解析部は、前記電力変換ユニットの前記力行運転中に検出された前記センサの検出結果に基づいた周波数スペクトルを生成する。周波数成分抽出部は、前記電力変換ユニットの構成に依存する周波数に係る特定周波数帯の成分を、前記周波数スペクトルに基づいて抽出する。診断処理部は、少なくとも前記抽出された特定周波数帯の成分の大きさに基づいて、前記キャパシタの状態を診断する。
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公开(公告)号：JP2021135169A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2020031563
申请日：2020-02-27
申请人： 株式会社国際電気通信基礎技術研究所
摘要： 【課題】 近接センサおよび圧力センサとして機能することができる。 【解決手段】 布型センサ(10)は、検出部12とコントローラ14を含む。検出部12は、導電性布20と絶縁テープ22で構成される。さらに、導電性布は、導電面の布20aと非導電面の布20bで構成される。絶縁テープは、導電面の布と同じ大きさを有し、この導電面の布に貼り付けられる。導電面の布に電圧が印加されると、導電面の布と少なくとも絶縁テープを介して存在する接地電位の導電体(人間)の間に静電容量が発生する。静電容量は、コントローラによって検出され、静電容量の大きさで導電体と検出部の距離が検出され、さらに、導電体が検出部に接触している場合には、静電容量の大きさで導電体から検出部にかかる圧力が検出される。 【選択図】 図2
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公开(公告)号：JP2021043020A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：JP2019164100
申请日：2019-09-10
申请人： 株式会社日立ハイテクソリューションズ
发明人： 小林 照雄
摘要： 【課題】 本発明の課題は、環境発電無線センサにおいて、簡便な方式で有寿命部品であるコンデンサの劣化診断を行い、遠隔地に設置された環境発電無線式センサの保守を適切に行うことである。 【解決手段】 本発明は、上記課題を解決するため、診断対象のコンデンサ6を環境発電無線式センサの回路から電気的に切り離し、予め定めた負荷など適切な負荷を接続してコンデンサ6の端子電圧の低下時間を測定し、これに基づいてコンデンサの劣化状況を判定することで劣化診断を行うものである。より具体的には、放電開始後一定時間経過後の静電容量と、予め測定したコンデンサの静電容量の比率を用いて劣化状況を判定する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6832207B2
公开(公告)日：2021-02-24
申请号：JP2017064814
申请日：2017-03-29
申请人： 東京エレクトロン株式会社
IPC分类号： H01L21/683 , G01R27/26
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公开(公告)号：JP2020161557A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019056967
申请日：2019-03-25
申请人： グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 , 国立大学法人 熊本大学
摘要： 【課題】プローブ電極と試料表面間のギャップ幅を正しく計測し、それにより試料の電気特性の測定精度を向上する。 【解決手段】パルス光伝導法によるプローブ電極から試料への印加電圧V(t)と、前記試料の充電電圧v(t)と、の充電電圧比v(t)/V(t)を実測する工程と、電極全体と試料表面間の傾きθを考慮したギャップ幅Wに対する充電電圧比v(t)/V(t)の理想曲線を求める工程と、前記充電電圧比v(t)/V(t)の実測値と理想曲線とが一致する傾きθを特定する工程と、前記傾きθを考慮したギャップ容量C gap を求める工程と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020153963A
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：JP2019139352
申请日：2019-07-30
申请人： アイシン精機株式会社
IPC分类号： G01R27/26
摘要： 【課題】検出精度を低下することなく、検出に必要な時間をより短縮できる静電容量検出装置を提供する。 【解決手段】互いに容量の異なる複数の並列接続のコンデンサを有し、合成容量が変化するコンデンサアレイ11と、コンデンサアレイ11に直列接続された検出コンデンサ12と、スイッチング制御部18bと、合成容量及び検出コンデンサ12の容量による電源の容量分圧の電位である中間電位を検出する検出部18aと、中間電位と参照電位との大小関係が反転する付近の合成容量のうちのいずれかを第1合成容量及び第2合成容量として取得する取得部18cと、合成容量がそれぞれ第1合成容量及び第2合成容量であるときの中間電位である第1中間電位及び第2中間電位に基づいて、コンデンサアレイ11の推定合成容量を演算する演算部18dと、推定合成容量に基づいて、検出コンデンサ12の容量を検出容量として導出する導出部18eとを備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020148605A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019046086
申请日：2019-03-13
申请人： アイシン精機株式会社
发明人： 倉知 秀哉
摘要： 【課題】検出対象物の存否の判定に必要な時間を短縮しつつ、検出対象物の存否の判定閾値を好的に設定できる静電容量検出装置を提供する。 【解決手段】互いに容量の異なる複数の並列接続のコンデンサを有し、合成容量が変化するコンデンサアレイ11と、コンデンサアレイ11に直列接続された検出コンデンサ12と、スイッチング制御部18bと、中間電位を検出する検出部18aと、中間電位と参照電位との大小関係が反転する付近の合成容量のうちのいずれかを基準合成容量として取得する取得部18cと、中間電位の変化量と判定閾値との大小関係に基づいて、検出対象物の存否を判定する判定部18dと、基準合成容量を所定の容量変化量だけ変更するべくスイッチング制御部18bを制御する容量変更部18eと、基準合成容量における中間電位と変更された基準合成容量における中間電位との差分に基づき判定閾値を設定する設定部18fとを備える。 【選択図】図1
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