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公开(公告)号：JP2018041103A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2017229902
申请日：2017-11-30
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： ドリビンスキ ヴラディミル , チュアン ヤン−ホ アレックス , アームストロング ジョセフ ジェイ , フィールデン ジョン
CPC分类号： H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
摘要： 【課題】周波数変換結晶をアニールする方法を提供する。 【解決手段】本方法では、温度は約2時間にわたって結晶の約150℃に上昇させる。温度は約10時間、150℃近くで保持する。次いで、温度は約1時間にわたって約200℃に上昇させる。このとき、約100時間、温度が150℃と200℃との間で保持する。最終的に、温度は約3時間にわたって室温まで低下させる。 【選択図】図3A
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公开(公告)号：JP6546979B2
公开(公告)日：2019-07-17
申请号：JP2017229902
申请日：2017-11-30
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： ドリビンスキ ヴラディミル , チュアン ヤン−ホ アレックス , アームストロング ジョセフ ジェイ , フィールデン ジョン
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公开(公告)号：JP2015222434A
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：JP2015144236
申请日：2015-07-21
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ヨン−ホ , アームストロング ジョセフ ジェイ , シェファー デイビッド アール
CPC分类号： G01N21/8806 , G02B17/0808 , G02B17/0812 , G02B17/0856 , G02B17/0892 , G02B21/02 , G03F7/70225 , G03F7/70341 , G01N21/9501 , G02B5/001
摘要： 【課題】小型化したカタジオプトリック型対物系を使用する標本検査システムを提供する。 【解決手段】小型化された対物系に加え各種サブシステムを用いて結像能力を増強する。サブシステムには照明、結像、自動合焦、位置決め、センサ、データ取得及びデータ分析サブシステムが含まれる。対物系が使用される光エネルギ波長は例えば約190nm〜赤外域であり、対物系を構成する素子の直径は100mm未満とする。対物系はレンズ型合焦装置1607、少なくとも1個の視野レンズ1605及び配列マンジャンミラー1601を備える。視野レンズ1605の向きは、レンズ型合焦装置1607から合焦済光エネルギを受け取り中間光エネルギを供給するよう設定する。0.65超で約0.90以下の開口数にて標本に対し結像用に調整済光エネルギを与える。 【選択図】図16
摘要翻译： 要解决的问题：提供具有缩小尺寸折射率物镜的样本检查系统。解决方案：具有缩小尺寸物镜的系统包括允许增强成像的各种子系统，子系统包括照明，成像，自动对焦，定位，传感器， 数据采集和数据分析子系统。 该目的可以用波长在大约190纳米到红外光范围的光能，并且目标的元素的直径小于100毫米。 该目的包括聚焦透镜组1607，至少一个场透镜1605和芒果镜布置1601.至少一个场透镜1605被定向为接收来自聚焦透镜组1607的聚焦光能并提供中间光能。 该设计赋予对于成像目的的数值孔径超过0.65并且高达约0.90的受控光能。
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公开(公告)号：JP2017201697A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017113427
申请日：2017-06-08
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
CPC分类号： H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , H01S3/083 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697
摘要： 【課題】レーザ反復率を向上させるための実際的かつ低コストな技術が必要とされている。 【解決手段】入力反復周波数で伝送される入力レーザパルスを、入力反復周波数よりも大きい出力反復周波数の出力パルス光に変換するパルスマルチプライヤ。入力レーザパルスの各入力レーザパルスを受け取るように位置決めされた偏光ビームスプリッター1001と、偏光ビームスプリッター1001からの各入力レーザパルスを受け取るように位置決めされた波長板1002と、少なくとも1つの表面が各入力レーザパルスの一部を波長板1002を透過して偏光ビームスプリッター1001に反射する多面反射コンポーネントの組を備える。多面反射コンポーネントは、パルスマルチプライヤを励起するパルスの組が入力反復周波数の少なくとも2倍の出力反復周波数比を有するように構成される。 【選択図】図10
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公开(公告)号：JP6073020B2
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：JP2014522837
申请日：2012-06-28
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： ドリビンスキ ヴラディミル , チュアン ヤン−ホ アレックス , アームストロング ジョセフ ジェイ , フィールデン ジョン
CPC分类号： H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G02F1/3551 , G02F1/37 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3553 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20
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公开(公告)号：JP6158795B2
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：JP2014515906
申请日：2012-06-11
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66 , H01S3/00 , G01N21/84
CPC分类号： H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , H01S3/083 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697
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公开(公告)号：JP5901607B2
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：JP2013264334
申请日：2013-12-20
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チャン ユン−ホ , アームストロング ジョセフ ジェイ , シェファー デイビッド アール
CPC分类号： G03F7/70225 , G02B17/0808 , G02B17/0812 , G02B17/0856 , G02B17/0892 , G02B21/02 , G03F7/70341
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