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公开(公告)号：JP6000362B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2014534799
申请日：2012-10-05
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ユン−ホ , ドリビンスキー ウラジミール
IPC分类号： G02F1/37
CPC分类号： G01N21/8806 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/9501 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113
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公开(公告)号：JP6415523B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2016241892
申请日：2016-12-14
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ユン−ホ , ドリビンスキー ウラジミール
CPC分类号： H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666
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公开(公告)号：JP2017201697A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017113427
申请日：2017-06-08
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
CPC分类号： H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , H01S3/083 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697
摘要： 【課題】レーザ反復率を向上させるための実際的かつ低コストな技術が必要とされている。 【解決手段】入力反復周波数で伝送される入力レーザパルスを、入力反復周波数よりも大きい出力反復周波数の出力パルス光に変換するパルスマルチプライヤ。入力レーザパルスの各入力レーザパルスを受け取るように位置決めされた偏光ビームスプリッター1001と、偏光ビームスプリッター1001からの各入力レーザパルスを受け取るように位置決めされた波長板1002と、少なくとも1つの表面が各入力レーザパルスの一部を波長板1002を透過して偏光ビームスプリッター1001に反射する多面反射コンポーネントの組を備える。多面反射コンポーネントは、パルスマルチプライヤを励起するパルスの組が入力反復周波数の少なくとも2倍の出力反復周波数比を有するように構成される。 【選択図】図10
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公开(公告)号：JP6062521B2
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：JP2015206996
申请日：2015-10-21
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ユン−ホ , ドリビンスキー ウラジミール
IPC分类号： G02F1/37 , G01N21/33 , G01N21/956
CPC分类号： H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113
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公开(公告)号：JP2016040549A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2015206996
申请日：2015-10-21
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ユン−ホ , ドリビンスキー ウラジミール
IPC分类号： G02F1/37 , G01N21/33 , G01N21/956
CPC分类号： H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113
摘要： 【課題】1つまたは複数の非線形光学(NLO)結晶の結晶欠陥を直して、性能を改善するまたはレーザ誘起損傷に対する抵抗性を高めるためのシステムを提供する。 【解決手段】選択された水素濃度を有する不活性化ガスを含むように構成された曝露チャンバ101であって、チャンバ内部の不活性化ガスへの曝露のために少なくとも1つのNLO結晶104を含むようにさらに構成された曝露チャンバ101と、曝露チャンバ101に流体的に接続される不活性化ガスソース108を含む。コンピューティングシステム112は、検出器によって受光される照明の少なくとも一部に関する情報を取得するように構成され、検出器によって受光される照明の少なくとも一部に関する情報を活用して、試料の少なくとも1つの欠陥の存在または不在を決定するように構成される。 【選択図】図1A
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于修复一个或多个非线性光学（NLO）晶体的晶体缺陷的系统，以提高性能或增加对激光引起的损伤的抗性。解决方案：系统包括：曝光室101，被配置为包括惰性 具有选择的氢浓度的气体，并且还被配置为包括用于暴露于室内的惰性气体的至少一个NLO晶体104; 以及与曝光室101流体连接的惰性气体源108.计算系统112被配置为获取关于由检测器接收的照明的至少一部分的信息，并且使用关于由所述检测器接收的照明的至少一部分的信息 检测器以确定样品中存在或不存在至少一个缺陷。选择图：图1A
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公开(公告)号：JP6479683B2
公开(公告)日：2019-03-06
申请号：JP2015555299
申请日：2014-01-24
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュワーン ユン−ホ アレックス , アームストロング ジェイ ジョセフ , ドリビンスキー ウラジミール , デン ユジュン , フィールデン ジョン
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公开(公告)号：JP2018132773A
公开(公告)日：2018-08-23
申请号：JP2018074155
申请日：2018-04-06
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
发明人： チュアン ユン−ホ , ドリビンスキー ウラジミール
CPC分类号： H01L21/3003 , C30B29/10 , C30B33/00 , C30B33/02 , G01N21/3563 , G01N21/59 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/3568 , G01N2021/3595 , G01N2021/8477 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , H01L21/322 , H01S3/027 , H01S3/094 , H01S3/109 , H01S3/1666
摘要： 【課題】1つまたは複数の試料を光学的に検査するためのシステムを提供する。 【解決手段】レーザシステム400は、選択された温度の範囲内でアニールされ、かつ、水素、重水素、水素含有混合物、重水素含有混合物の少なくとも1つにより、選択された不活性化レベルに不活性化されたNLO結晶104と、選択された波長の光を生成するように、さらに、NLO結晶104を通して光を伝達するように構成された少なくとも1つの光源402と、NLO結晶104を収容するように構成されたハウジングユニット406と、を備える。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP6158795B2
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：JP2014515906
申请日：2012-06-11
申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66 , H01S3/00 , G01N21/84
CPC分类号： H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , H01S3/083 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697
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