公开(公告)号：JP2018517902A

公开(公告)日：2018-07-05

申请号：JP2017559375

申请日：2016-05-13

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： チュアン ユン−ホ アレックス ,  フィールデン ジョン ,  ブラウン デイヴィッド エル ,  ジャン ジンジン ,  リヨン キース ,  ワン マーク シ

IPC: H04N5/369 ,  H01L27/148 ,  G01N21/956

CPC classification number: H04N5/3722 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/12

Abstract: リニアセンサにおける画素アパーチャサイズ調整を、より負な制御電圧をその画素の抵抗性制御ゲートの中央領域に印加すること及びより正な制御電圧をそのゲートの端部に印加することによって達成する。これら制御電圧を受け抵抗性制御ゲートが発生させる電界によって、その画素の感光領域の指定部分内で生成された光電子が電荷蓄積領域内に追いやられて爾後の計測に供され、その画素の感光領域の他部分内で生成された光電子がその電荷蓄積領域から退けられて爾後の破棄又は同時読み出しに供される。システム内で利用されている光学系が、サンプルから様々な角度又は部位で光を受け取り各画素の感光領域の対応する諸部分へと差し向ける。複数個のアパーチャ制御電極を選択的に作動させることで、狭く又は広い角度域又は位置範囲から受け取った光を収集/計測することにより、迅速な画像データ調整を可能にする。

公开(公告)号：JP5959648B2

公开(公告)日：2016-08-02

申请号：JP2014531950

申请日：2012-09-20

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： リウ シュエフェン ,  チュアン ユン−ホ アレックス ,  フィールデン ジョン ,  ツァイ ビン−ミン ベンジャミン ,  ジャン ジンジン

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06F17/5081 ,  G03F7/70625 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  G06F17/10 ,  G06F19/00 ,  G06F2217/12 ,  G06F2217/14 ,  G06F2217/16

公开(公告)号：JP2019514286A

公开(公告)日：2019-05-30

申请号：JP2018552866

申请日：2017-04-05

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： チャン ユン−ホ アレックス ,  ジャン ジンジン ,  ザメク スティーブ ,  フィールデン ジョン ,  コンタラト デービス ,  ブラウン デイビッド エル

IPC: H01L27/148 ,  H01L27/144 ,  H04N5/372

Abstract: デュアルカラムパラレルイメージCCDセンサは、隣接するピクセル列のペアからピクセルデータ(電荷)を低雑音で高速で共有出力回路に交互に移動させるための相互接続された2ペアのトランスファゲートを含むデュアルカラムパラレル読み出し回路を用いる。2つの隣接するピクセル列に沿ってラインクロックレートで移動した電荷は、トランスファゲートによって、ラインクロックレートの二倍で作動する加算ゲートに交互に伝えられて、イメージ電荷を共有出力回路に伝える。一実施形態において、2つのピクセル列からのイメージ電荷を融合するために対称なY字形拡散が用いられる。デュアルカラムパラレルCCDセンサをラインクロック同期化で駆動する方法も記載される。デュアルカラムパラレルCCDセンサを用いて試料を検査する方法も記載される。

公开(公告)号：JP6549220B2

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2017511732

申请日：2015-08-28

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： ブラウン デイヴィッド エル ,  チャン ユン−ホ アレックス ,  フィールデン ジョン ,  トリンプ マルセル ,  ジャン ジンジン ,  コンタラト デヴィス ,  アイヤル ベンカトラマン

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244