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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP5959648B2
公开(公告)日：2016-08-02
申请号：JP2014531950
申请日：2012-09-20
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： リウ シュエフェン , チュアン ユン−ホ アレックス , フィールデン ジョン , ツァイ ビン−ミン ベンジャミン , ジャン ジンジン
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06F17/5081 , G03F7/70625 , H01L22/12 , H01L22/20 , G06F17/10 , G06F19/00 , G06F2217/12 , G06F2217/14 , G06F2217/16
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公开(公告)号：JP2017191324A
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：JP2017109074
申请日：2017-06-01
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： チュアン ユン−ホ アレックス , アームストロング ジェイ ジョセフ , ドリビンスキイ ヴラディミル , フィールデン ジョン
CPC classification number: H01S3/0092 , G01N21/8806 , G01N21/956 , G02F1/353 , H01S3/1611 , H01S3/2308 , H01S3/2383 , G01N2021/95676 , G02F2001/3507 , G02F2001/354
Abstract: 【課題】改良されたレーザーシステムおよび関連する技術を提供する。 【解決手段】1064nmに近い基本真空波長から、約193.368nmの紫外線(UV)波長を発生させる。好適な実施形態は、入力波長の未消費の部分を少なくとも一段階に分割し(102, 102′)、別の段階での使用のためにその未消費の部分を向け直す(104)。改良されたレーザーシステムおよび関連する技術は、産業において現在使用されているそれよりも、より安価で、より長寿命のレーザーをもたらす。 【選択図】図1A
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公开(公告)号：JP2018525930A
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：JP2018507598
申请日：2016-08-13
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： チュアン ユン−ホ アレックス , ブラウン デイヴィッド エル , コンタラト デイヴィス , フィールデン ジョン , カバルジエフ ダニエル イワノフ , ジャオ グオヘン , チェン ジェン−ファー ハワード , ジェン グオウー , ペティボーン ドナルド , ビエラク スティーブン
IPC: H04N5/357 , H04N5/347 , G01N21/956 , H04N5/3725
CPC classification number: H04N5/335 , G01N21/9501 , G01N2021/95676 , H04N5/2256 , H04N5/347 , H04N5/3745 , H04N5/3765 , H04N5/378
Abstract: イメージセンサによって取り込まれたアナログイメージデータ値(電荷)がイメージセンサの出力感知ノード(浮動拡散)に出力信号として送信される前または送信の最中にビニングされ(合成され)、ADCが、出力感知ノードの各リセット間に多数の対応するデジタルイメージデータ値を逐次生成するように制御される検査システムおよび方法。出力ビニング方法によれば、イメージセンサは、多数の電荷を各リセット間に出力感知ノードに逐次転送するように駆動され、ADCは、各電荷が出力感知ノードに転送された後で増加的に増加する出力信号を変換するように制御される。マルチサンプリング方法によれば、多数の電荷は、出力感知ノードに転送される前に垂直または水平にビニングされ(合算/合成され)、ADCは、各対応する出力信号を多回サンプリングする。出力ビニングとマルチサンプリング方法が組み合わされてもよい。
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公开(公告)号：JP2018517902A
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：JP2017559375
申请日：2016-05-13
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： チュアン ユン−ホ アレックス , フィールデン ジョン , ブラウン デイヴィッド エル , ジャン ジンジン , リヨン キース , ワン マーク シ
IPC: H04N5/369 , H01L27/148 , G01N21/956
CPC classification number: H04N5/3722 , G01N21/956 , G01N2201/12
Abstract: リニアセンサにおける画素アパーチャサイズ調整を、より負な制御電圧をその画素の抵抗性制御ゲートの中央領域に印加すること及びより正な制御電圧をそのゲートの端部に印加することによって達成する。これら制御電圧を受け抵抗性制御ゲートが発生させる電界によって、その画素の感光領域の指定部分内で生成された光電子が電荷蓄積領域内に追いやられて爾後の計測に供され、その画素の感光領域の他部分内で生成された光電子がその電荷蓄積領域から退けられて爾後の破棄又は同時読み出しに供される。システム内で利用されている光学系が、サンプルから様々な角度又は部位で光を受け取り各画素の感光領域の対応する諸部分へと差し向ける。複数個のアパーチャ制御電極を選択的に作動させることで、狭く又は広い角度域又は位置範囲から受け取った光を収集/計測することにより、迅速な画像データ調整を可能にする。
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公开(公告)号：JP2018078293A
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：JP2017220025
申请日：2017-11-15
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： チュアン ユン−ホ アレックス , リオウ ジャスティン ダイアンフアン , アームストロング ジェイ ジョセフ , デン ユージン
CPC classification number: H01S3/005 , C23C16/00 , G02B17/00 , G02B17/0848 , G02B27/00 , G02B27/108 , H01S3/00 , H01S3/10
Abstract: 【課題】レーザーの出力で動作するUVレーザーの反復率を向上させるための実用的かつ低コストな技術を提供する。 【解決手段】半導体の検査または計測に用いるパルスマルチプライヤは、レーザーパルスを受け取るビームスプリッター103と、ビームスプリッター103を含むリングキャビティを形成する1つ以上のミラー106,107を備える。ビームスプリッターは、レーザーパルスのエネルギーの第1の割合をパルスマルチプライヤの出力として向け、レーザーパルスのエネルギーの第2の割合をリングキャビティに向け、リングキャビティは、波長板を含んでおらず、連続する出力パルスは同一の偏光状態を有する。 【選択図】図1A
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