公开(公告)号：JP2016519782A

公开(公告)日：2016-07-07

申请号：JP2016504330

申请日：2014-03-18

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション ,  ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： ユン−ホ チュワン ,  ユン−ホ チュワン ,  ジェイ ジョセフ アームストロング ,  ジェイ ジョセフ アームストロング ,  ジャスティン ディエンホワン リオウ ,  ジャスティン ディエンホワン リオウ ,  ウラジミール ドリビンスキ ,  ウラジミール ドリビンスキ ,  ジョン フィールデン ,  ジョン フィールデン

IPC: G02F1/37 ,  G01N21/956 ,  G02F1/35 ,  H01L21/66 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01S3/2308 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G02F1/353 ,  G02F2001/3507 ,  G02F2001/354 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/0602 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06758 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/2375 ,  H01S3/302

Abstract: 改良されたレーザは、光を約189nm〜約200nm、例えば193nmの波長で発生させるために、1109nm付近の波長と1171nm付近の基本波長とを有するポンプレーザを用いる。レーザは、1109nmポンプ波長を、約234.2nmの波長である1171nm基本波の第5高調波と混合する。非線形媒体を適切に選択することで、ほぼ非臨界の位相整合によりそのような混合を達成することができる。この混合によって変換効率が高くなり、安定性が良好になり、信頼性が高くなる。

Abstract translation: 约189nm〜约200nm，例如改善的激光，以产生在193nm的波长，使用具有在一波长和1171nm周围1109Nm附近的基波波长的泵激光器。 激光器，1109nm泵波长时，具有大约234.2nm的波长1171nm基波的五次谐波混合。 通过非线性介质的适当选择，可以由基本上非关键的相位匹配来实现这种混合。 转换效率这混合物的增加，稳定性提高，它是可靠的。

公开(公告)号：JP2014519614A

公开(公告)日：2014-08-14

申请号：JP2014515906

申请日：2012-06-11

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： ユン−ホ チュワン ,  ジョセフ ジェイ アームストロング ,  ジャスティン ディエンホワン リオウ ,  ウラジミール ドリビンスキー ,  デイヴィッド エル ブラウン

IPC: G01N21/84 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01S3/0057 ,  G01N21/21 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G02B5/0816 ,  G02B5/3083 ,  G02B27/281 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286 ,  H01S3/083

Abstract: パルスマルチプライヤは、偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組を含む。 偏光ビームスプリッターは、入力レーザパルスを受け取る。 波長板は、偏光ビームスプリッターからの光を受け取り、第１のパルスの組および第２のパルスの組を生成する。 第１のパルスの組は、第２のパルスの組と異なる偏光を有する。 偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組により、リングキャビティーが生成される。 偏光ビームスプリッターは、第１のパルスの組をパルスマルチプライヤの出力として透過させ、第２のパルスの組をリングキャビティー内に反射させる。 このパルスマルチプライヤは、出力損失を最小に抑えつつ毎秒あたりのパルス数を増加させつつ、パルスあたりのピーク出力を低コストに低減させることができる。