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公开(公告)号：JP2014530380A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2014531957
申请日：2012-09-20
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション , ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ヤン−ホ アレックス シュアング , ヤン−ホ アレックス シュアング , ドリビンクシヴィラディミル , ヴィラディミル ドリビンクシ , ジョセフジェイ アームストロング , ジョセフ ジェイ アームストロング
CPC classification number: G01N21/9501 , G01J3/10 , G01J3/1256 , G01N2021/8825 , G01N2021/95676 , G02F1/3501 , G02F1/3532 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G03F1/84 , G03F7/70025 , G03F7/7065 , H01S3/0092 , H01S3/06754 , H01S3/1618 , H01S3/302
Abstract: 193nmの光を生成するための改善された固体レーザを記載する。このレーザは、1160nm付近の基本波長の第6高調波を用いて193nmの光を生成する。レーザは、1160nmの基本波長と、約232nmの波長である第5高調波とを混合する。非線形媒質の適切な選択によって、そのような混合は、ほぼ非臨界の位相整合において達成できる。この混合は、高変換効率、良好な安定性および高信頼性をもたらす。
Abstract translation: 它描述了用于产生的193nm的光的改进的固态激光器。 该激光产生使用约1160纳米的基波波长的六次谐波的193nm的光。 激光器，具有1160纳米基波波长和第五谐波的混合是大约232纳米的波长。 通过所述非线性介质的适当选择，例如混合可在基本上非临界相位匹配来实现。 这个混合产生了高的转换效率，稳定性好，可靠性高。
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公开(公告)号：JP2017530403A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2017515085
申请日：2015-09-22
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション , ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ユージン デン , ユージン デン , ユン−ホ アレックス チュアン , ユン−ホ アレックス チュアン , ジョン フィールデン , ジョン フィールデン , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジョセフ ジェイ アームストロング , ブラディミル ドリビンスキ , ブラディミル ドリビンスキ
IPC: G02F1/37 , G01N21/84 , G01N21/956 , H01S3/00 , H01S3/10
CPC classification number: H01S3/137 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/44 , G01J2001/4238 , G02F1/37 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/0092 , H01S3/1611 , H01S3/1643 , H01S3/1671 , H01S2301/08
Abstract: パルスUVレーザー組立体は、それぞれの基本波パルスを2つのサブパルスに分割し、一方のサブパルスをブラッグ格子の一端へ導き、他方のサブパルスをブラッグ格子(または別のブラッグ格子)の他端へ導いて、両方のサブパルスが引き伸ばされて逆の(正と負の)周波数チャープを受ける、部分反射器またはビームスプリッタを含む。2つの引き伸ばされたサブパルスが組み合わされて、基本波からの2次高調波生成によって直接取得され得るものよりも狭い帯域幅を有する和周波数光を生成する。UV波長は、和周波数光から直接生成されてよく、または和周波数光を内蔵する高調波の変換方式から生成されてもよい。UVレーザーは、他の帯域幅低減方式をさらに内蔵し得る。パルスUVレーザーは、検査システムまたは度量衡システムで使用され得る。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6254673B2
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：JP2016257173
申请日：2016-12-29
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション , ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ヴラディミル ドリビンスキ , ヴラディミル ドリビンスキ , ヤン−ホ アレックス チュアン , ヤン−ホ アレックス チュアン , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジョン フィールデン , ジョン フィールデン
IPC: G01N21/956 , G01N21/94 , G02F1/37 , H01S3/00 , H01S3/10
CPC classification number: H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
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公开(公告)号：JP2014523551A
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：JP2014522837
申请日：2012-06-28
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ヴラディミル ドリビンスキ , ヤン−ホ アレックス チュアン , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジョン フィールデン
CPC classification number: H01S5/0092 , C03B33/02 , C30B1/02 , C30B29/10 , C30B29/14 , C30B29/22 , C30B29/30 , C30B33/02 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0637 , G01N2201/068 , G02F1/353 , G02F1/3551 , G02F1/3553 , G02F1/37 , G02F2001/3505 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , G02F2202/20 , H01S3/0092 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/11
Abstract: 低温で動作可能なモードロックレーザシステムは、アニールされた周波数変換結晶、および低温での標準動作中に結晶のアニール状態を維持するためのハウジングを含むことがある。 一実施形態では、結晶は増加した長さを有することがある。 第１のビーム成形光学部品は、光源から、結晶内にまたは結晶に近接して位置するビームウエストでの楕円断面にビームを集束するように構成することができる。 高調波分離ブロックは結晶からの出力を、空間で分離された異なる周波数のビームに分割できる。 一実施形態では、モードロックレーザシステムは、所望される周波数ビームの楕円断面を、円形断面等の所望されるアスペクト比のビームに変換するように構成された第２のビーム成形光学部品をさらに含むことがある。
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公开(公告)号：JP2014519614A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：JP2014515906
申请日：2012-06-11
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ユン−ホ チュワン , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジャスティン ディエンホワン リオウ , ウラジミール ドリビンスキー , デイヴィッド エル ブラウン
IPC: G01N21/84 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , H01S3/083
Abstract: パルスマルチプライヤは、偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組を含む。 偏光ビームスプリッターは、入力レーザパルスを受け取る。 波長板は、偏光ビームスプリッターからの光を受け取り、第１のパルスの組および第２のパルスの組を生成する。 第１のパルスの組は、第２のパルスの組と異なる偏光を有する。 偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組により、リングキャビティーが生成される。 偏光ビームスプリッターは、第１のパルスの組をパルスマルチプライヤの出力として透過させ、第２のパルスの組をリングキャビティー内に反射させる。 このパルスマルチプライヤは、出力損失を最小に抑えつつ毎秒あたりのパルス数を増加させつつ、パルスあたりのピーク出力を低コストに低減させることができる。
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公开(公告)号：JP5367126B2
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：JP2012123183
申请日：2012-05-30
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ユン ホ チャン , デイビッド シェイファー , ジョセフ ジェイ アームストロング
CPC classification number: G02B17/0892 , G02B17/0812 , G02B17/0856 , G02B21/02 , G02B21/04 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341
Abstract: A relatively high spectral bandwidth objective employed for use in imaging a specimen and method for imaging a specimen is provided. The objective includes a lens group having at least one focusing lens configured to receive light energy and form focused light energy. The focused light energy forms an intermediate image. The objective further includes at least one field lens located in proximity to an intermediate image, and a catadioptric arrangement positioned to receive the intermediate light energy from the at and form controlled light energy. The catadioptric arrangement may include at least one Mangin element and can include a meniscus lens element.
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公开(公告)号：JP5255838B2
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：JP2007529941
申请日：2005-08-16
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： ユン−ホ チャン , ジョセフ ジェイ アームストロング
IPC: H01S3/067 , G01N21/00 , G01N21/01 , G01N21/33 , G01N21/39 , G01N21/84 , G02F1/37 , H01L21/66 , H01S3/109 , H01S3/113
CPC classification number: H01S3/2383 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G02B6/02347 , G02B6/02366 , H01S3/005 , H01S3/0057 , H01S3/06708 , H01S3/06729 , H01S3/06741 , H01S3/06745 , H01S3/06754 , H01S3/06791 , H01S3/094007 , H01S3/094019 , H01S3/09415 , H01S3/1118
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