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公开(公告)号：JP2018089976A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2018020194
申请日：2018-02-07
Applicant: コニカミノルタ株式会社
IPC: B05D7/24 , B05D3/10 , B05D5/00 , C23C16/42 , C23C16/40 , H05B33/02 , H05B33/04 , H01L51/50 , B32B9/00
CPC classification number: C23C16/402 , C23C16/403 , C23C16/45555 , C23C28/00 , H01L51/5253
Abstract: 【課題】高温高湿条件下であっても十分なガスバリア性能を示すガスバリア性フィルムを提供する。 【解決手段】基材、第1の層、第2の層、および第3の層をこの順に含み、前記第1の層は、ケイ素、アルミニウムおよびチタンからなる群より選択される少なくとも1種の酸化物、窒化物、酸窒化物または酸炭化物の少なくとも1種を含み、かつ化学蒸着法により形成され、前記第2の層は、無機酸化物を含み、かつ原子層堆積法により形成され、前記第3の層は、ケイ素化合物を含有する液を塗布して形成される塗膜を改質処理して得られる、ガスバリア性フィルム。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6222224B2
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：JP2015513653
申请日：2014-04-03
Applicant: コニカミノルタ株式会社
CPC classification number: B05D3/067 , B05D2252/02 , B05D3/0486
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公开(公告)号：JP2017095759A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：JP2015228887
申请日：2015-11-24
Applicant: コニカミノルタ株式会社
Abstract: 【課題】高温高湿環境下での耐久性に優れ、デバイス封止時の接着性に優れたガスバリア性フィルムを製造する方法の提供。 【解決手段】基材1上に非遷移金属(M1)を含む第1の層32を形成する工程1と、第1の層32上に、第1の層と接するように、物理蒸着法により、遷移金属(M2)を含む第2の層33を形成する工程2と、第2の層上33に、物理蒸着法により、遷移金属(M2’)を含む第3の層34を形成する工程3とを含み、第3の層34は最外層であり、工程2および工程3において、第2の層33を形成する蒸着速度をDR2(nm/秒)、第3の層34を形成する蒸着速度をDR3(nm/秒)としたとき、DR3に対するDR2の比であるRが、式1を満たす、ガスバリア性フィルムの製造方法。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6287858B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2014552051
申请日：2013-12-10
Applicant: コニカミノルタ株式会社
CPC classification number: C23C16/402 , C23C16/403 , C23C16/45555 , C23C28/00 , H01L51/5253
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公开(公告)号：JP2016006210A
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：JP2014126857
申请日：2014-06-20
Applicant: コニカミノルタ株式会社
Abstract: 【課題】本発明の課題は、ガスバリアー性及び光学特性の安定性に優れたガスバリアー性フィルムの製造方法及び製造装置と、当該ガスバリアー性フィルムの製造を容易にする膜厚の測定方法とを提供することである。 【解決手段】真空チャンバー10内において原料ガスのプラズマ反応によりガスバリアー層を形成するガスバリアー性フィルムの製造方法であって、前記真空チャンバー10の内壁又は内部に配置された複数の部材の少なくとも一部の表面に、拡散透過率が2%以上であるフィルム30を設けた状況下において、前記ガスバリアー層を形成することを特徴とするガスバリアー性フィルムの製造方法。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供阻气性和光学性能优异的阻气膜的制造方法和制造装置以及便于制造所述气体阻隔性的膜厚测量方法。解决方案：气体 在真空室10中通过原料气体的等离子体反应形成阻气层的阻挡膜制造方法的特征在于，在透光率为2％的膜30为 形成在布置在所述真空室10的内壁或内部的多个构件中的至少一些构件的表面上。
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公开(公告)号：JP5733214B2
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：JP2011536118
申请日：2010-10-08
Applicant: コニカミノルタ株式会社
CPC classification number: H01J61/14 , H01J65/044 , H05H1/46 , H01J61/16 , H05H2001/4622
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