公开(公告)号：JP5590810B2

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：JP2009043784

申请日：2009-02-26

Applicant: トヨタ自動車株式会社 ,  学校法人トヨタ学園

Inventor： 典孝 宮本 ,  龍大 市來 ,  昌史 吉田 ,  民夫 原 ,  正洋 奥宮 ,  好樹 恒川

IPC: C23C8/38 ,  C21D1/06

公开(公告)号：JP5075052B2

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：JP2008204159

申请日：2008-08-07

Applicant: トヨタ自動車株式会社 ,  学校法人トヨタ学園

Inventor： 民夫 原 ,  龍大 市來

IPC: H05H1/24 ,  C23C8/38

公开(公告)号：JP5300283B2

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：JP2008046171

申请日：2008-02-27

Applicant: 学校法人トヨタ学園 ,  日本プラズマトリート株式会社

Inventor： 民夫 原 ,  龍大 市來 ,  雄介 久保田 ,  俊治郎 池澤 ,  サンカー パラジュリ ,  康彦 鶴本

IPC: B01J27/24 ,  B01J19/08 ,  B01J35/02 ,  B01J37/34

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nitridation method (a method for nitriding a material) having low environmental loads and high efficiency. SOLUTION: The nitridation method comprises a step of irradiating a material (a glass substrate 30 having a TiO 2 film 32 on the surface thereof) with an atmospheric-pressure plasma jet 2 generated by using a gaseous raw material 40 containing nitrogen at the least. Nitrogen molecules are not only ionized but also efficiently dissociated to produce nitrogen atoms of high concentration by a high-voltage pulse discharge inside the atmospheric-pressure plasma jet 2. When the surface of the material is irradiated with the atmospheric-pressure plasma jet 2 generated by using the gaseous raw material 40 (even air can be used) containing nitrogen at the least, the surface of the material is nitrided in a short period of time by nitrogen atoms of high concentration contained in a plasma flame. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT