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公开(公告)号:JP6888013B2
公开(公告)日:2021-06-16
申请号:JP2018536814
申请日:2017-01-13
发明人: ニューフェルド,カール ジョーセフ , ウー,モー , 吉川 俊英 , ミシュラ,ウメシュ , リウ,シアン , ローズ,デヴィッド,マイケル , グリッターズ,ジョン,カーク , ラル,ラケシュ,ケー.
IPC分类号: H01L29/778 , H01L29/812 , H01L21/337 , H01L29/808 , H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/338