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    MEMS素子、MEMSスイッチ、ミラーアクチュエータおよび波長可変フィルタ
    2.
    发明专利
    MEMS素子、MEMSスイッチ、ミラーアクチュエータおよび波長可変フィルタ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021162618A

    公开(公告)日：2021-10-11

    申请号：JP2020061034

    申请日：2020-03-30

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 岡本 庄司 ,  高山 了一 ,  水原 健介 ,  張替 貴聖 ,  片山 琢磨

    IPC: G01J3/26 ,  G01J3/45 ,  G02B26/00

    Abstract: 【課題】可動部を平坦な状態で変位させることが可能なMEMS素子、MEMSスイッチ、ミラーアクチュエータおよび波長可変フィルタを提供する。 【解決手段】MEMS素子1は、固定部11と、可動部40と、可動部40を固定部11に接続する梁部12と、梁部12と可動部40とを接続する接続部41と、梁部12を湾曲させて可動部40を変位させる駆動部D1と、を備える。駆動部D1は、固定部11と梁部12との境界である固定点Pfと、固定部11、梁部12、可動部40および接続部41からなる構造体によって決まる固有機械振動モードの一つであるピストンモードにおいて、可動部40が最も大きく振動した際の、固定点Pfと接続部41との間の梁部12の変形における変曲点Piとの間に、可動部40側にはみ出すことなく配置されている。 【選択図】図1

    圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド
    4.
    发明专利
    圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018101754A

    公开(公告)日：2018-06-28

    申请号：JP2016248531

    申请日：2016-12-21

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 石田 貴巳 ,  張替 貴聖 ,  川崎 哲生

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  B41J2/14 ,  H01L41/09

    Abstract: 【課題】発生力を向上させることができる圧電アクチュエータなどを提供する。 【解決手段】圧電アクチュエータ170は、第一主面132及び第一主面132とは反対側の第二主面133を有するダイヤフラム131と、ダイヤフラム131を囲むように配置された支持部118と、ダイヤフラム131の第二主面133に配置された圧電駆動部150とを備えている。ダイヤフラム131は、平面視において矩形状の第一矩形状部134と、第一矩形状部134の一端部から先細るように形成された第一先細り部135とを備えている。圧電駆動部150は、平面視において矩形状の第二矩形状部155と、第二矩形状部155の一端部から先細るように形成された第二先細り部156とを備えている。圧電駆動部150は、第二矩形状部155が第一矩形状部134に重なるとともに、第二先細り部156が第一先細り部135に重なるように配置されている。 【選択図】図2

    圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド
    5.
    发明专利
    圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッド 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018099846A

    公开(公告)日：2018-06-28

    申请号：JP2016247903

    申请日：2016-12-21

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 石田 貴巳 ,  張替 貴聖 ,  川崎 哲生

    IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/047 ,  B41J2/135 ,  B41J2/14

    Abstract: 【課題】発生力を向上させることができる圧電アクチュエータなどを提供する。 【解決手段】圧電アクチュエータ170は、第一主面132及び第一主面132とは反対側の第二主面133を有するダイヤフラム131と、ダイヤフラム131を囲むように配置された支持部118と、ダイヤフラム131の第二主面133に配置された圧電駆動部150とを備えている。ダイヤフラム131は、平面視において長尺な矩形状に形成されている。圧電駆動部150は、平面視において、ダイヤフラム131の長手方向における当該圧電駆動部150の中央部から両端に向けて先細る形状に形成されている。 【選択図】図2

    角速度センサ
    6.
    发明专利
    角速度センサ 审中-公开
    角速度传感器

    公开(公告)号：JP2016200520A

    公开(公告)日：2016-12-01

    申请号：JP2015081385

    申请日：2015-04-13

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 高山 了一 ,  張替 貴聖 ,  田中 良明 ,  足立 秀明 ,  藤井 映志

    IPC: G01C19/5628 ,  H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/293 ,  H01L41/297 ,  H01L41/332 ,  G01C19/5621

    Abstract: 【課題】駆動効率を改善した圧電角速度センサを提供することを目的とものであるする。 【解決手段】基板と、前記基板の上に設けられる第1の電極と、前記第1の電極の上に設けられる第1の圧電層と、前記第1の圧電層の上に設けられる第2の電極と、前記第2の電極の上に設けられる第2の圧電層と、前記第2の圧電層の上に設けられる第3の電極と、回路基板と、を備える。前記第1、第2、第3の電極と前記回路基板とは電気的に接続され、前記第1、前記第3の電極は、前記回路基板からの電気信号が入力され、前記第2の電極は、グランド電位に接続される角速度センサ。 【選択図】図2

    Abstract translation: 本发明公开了这些目标是提供具有改进的压电角速度传感器驱动效率。 和基板，设置在所述基板上的第一电极，所述设置在所述第一电极上的第一压电体层，设置在第一压电层上的第二 包括电极，设置在所述第二电极，设置在所述第二压电层上的第三电极上的第二压电体层，和一个电路板，所述的。 所述第一，第二，和所述电路板和所述第三电极电连接时，第一，第三电极，从所述电路板的电信号被输入时，第二电极 角速度传感器被连接到接地电位。 .The

    レーザスキャニング装置
    7.
    发明专利
    レーザスキャニング装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021067895A

    公开(公告)日：2021-04-30

    申请号：JP2019194763

    申请日：2019-10-25

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 野口 仁志 ,  高山 了一 ,  村上 公博 ,  中村 亘志 ,  深草 雅春 ,  張替 貴聖

    IPC: G01S7/481 ,  G02B26/08

    Abstract: 【課題】衝撃や振動等の外乱環境下においても安定的に高出力のレーザ光を走査させることが可能なレーザスキャニング装置を提供する。 【解決手段】レーザスキャニング装置1は、一方向に並ぶ複数のレーザ発光部11aを備えるレーザ光源11と、各レーザ発光部11aから出射されたレーザ光が入射する回折格子15と、各レーザ発光部11aの出射波長を設定する外部共振型の発振光学系と、を備える。ここで、発振光学系は、各レーザ発光部11aから出射されたレーザ光を各レーザ発光部11aに帰還させるための部分反射ミラー14と、各レーザ発光部11aと部分反射ミラー14との間に配置され、制御信号により透過波長帯域が可変の波長変調素子13と、を備える。 【選択図】図1

    発光装置およびレーザレーダ
    8.
    发明专利
    発光装置およびレーザレーダ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020129621A

    公开(公告)日：2020-08-27

    申请号：JP2019022045

    申请日：2019-02-08

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 森本 廉 ,  野口 仁志 ,  高山 了一 ,  張替 貴聖

    IPC: G01S7/484 ,  G01S7/481 ,  H01S5/022 ,  H01S5/40

    Abstract: 【課題】複数のレーザ光源に電流を供給するための配線のインダクタンスを効果的に抑制することが可能な発光装置および当該発光装置を備えたレーザレーダを提供する。 【解決手段】発光装置は、複数のレーザ光源と、複数のレーザ光源にそれぞれ電流を供給するための複数の配線113と、を備える。ここで、複数の配線113は、一方向に並んで配置される。発光装置は、電流の供給によって配線113のループ内を貫通する磁束の少なくとも一部をシールドするための構成(シールド部301)を備える。 【選択図】図5

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