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公开(公告)号：JP5826185B2
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：JP2012539867
申请日：2010-11-12
Applicant: ラム リサーチ コーポレーション , LAM RESEARCH CORPORATION
Inventor： シュリヴァスタヴァ,アシーム , クィーラード,ロバート
IPC: H01L21/3065 , C23C16/511 , H01P5/02 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32192 , H01J37/32256
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