公开(公告)号：JP2018118989A

公开(公告)日：2018-08-02

申请号：JP2018064077

申请日：2018-03-29

Applicant: レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

Inventor： ガティノ 論子 ,  コ チャンヒ ,  ジャン−マルク ジラール ,  ジュリアン ガティノ

IPC: C07F19/00

CPC classification number: C23C16/06 ,  C07F15/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/28 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76841

Abstract: 【課題】コバルト含有膜の堆積に好適なコバルト化合物の提供。 【解決手段】式で表されるコバルト含有化合物。 (R 1 、R 2 、R 3 、R 4 及びR 5 は各々独立してH及び直鎖、環状又は分岐炭化水素基からなる群から選択される。但し(a)R 1 及びR 2 及びR 3 が炭化水素基である場合にR 1 ≠R 2 及び/又はR 3 であり、(b)R 3 がHである場合にR 1 及びR 2 は炭化水素基であり、又は(c)R 2 及びR 3 がHである場合にR 1 はC2〜C4炭化水素基である) 【選択図】なし

公开(公告)号：JP6317370B2

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：JP2015555837

申请日：2014-01-31

Applicant: レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

Inventor： ガティノ 論子 ,  コ チャンヒ ,  ジャン−マルク ジラール ,  ジュリアン ガティノ

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/18

CPC classification number: C23C16/06 ,  C07F15/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/28 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76841