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公开(公告)号:JP2012503303A
公开(公告)日:2012-02-02
申请号:JP2011526435
申请日:2009-07-15
发明人: マルティン アレクサンダー , クラウス アンドレアス , クンツ デニス , フィックス リヒャルト
IPC分类号: H01L23/52 , H01L21/3205
CPC分类号: H01L23/53223 , H01L21/7685 , H01L21/76885 , H01L23/53252 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 本発明は、基板(3)上に、導電性材料(9)から成る少なくとも1つの構造化された層(15)を含む電子構成部分に関する。 ここでは導電性材料(9)から成る構造化された層(15)の上に、第2の材料(11)から成る保護層(17)が被着される。 この第2の材料(11)は、前記構造化された層(15)の導電性材料(9)よりも、よりイオン化傾向が大きい。 さらに本発明は、電子構成部分(1)の製造方法に関する。 ここでは第1のステップにおいて、導電性材料(9)から成る構造化された層(15)を基板(3)上に被着し、第2のステップにおいて、前記構造化された層(15)の導電性材料(9)よりもイオン化傾向がより大きい第2の材料(11)から成る保護層(17)を、前記構造化された層(15)の上に被着する。
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公开(公告)号:JP2013519076A
公开(公告)日:2013-05-23
申请号:JP2012551523
申请日:2010-12-20
发明人: リーマースドルフ ディアク , フィクス リヒャート , クンツ デニス , マーティン アレクサンダー
CPC分类号: G01N27/227 , G01N27/414
摘要: The present invention relates to a method for detecting two or more gas species in a gas species mixture, using a field effect-based gas sensor comprising a gas electrode/counter-electrode system composed of a gas-sensitive electrode and a counter-electrode unit. In order to be able to detect a plurality of gas species, AC voltages or alternating currents having differing frequencies are applied, whereby the gas-sensitive electrode becomes sensitive to gas species. The resulting alternating current or the resulting AC voltage is measured on the gas electrode/counter-electrode system and the presence and/or the concentration of the gas species is determined from the resulting alternating current or the resulting AC voltage.
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