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公开(公告)号：JP2012517600A
公开(公告)日：2012-08-02
申请号：JP2011549452
申请日：2009-12-15
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , へネック シュテファン , ヴィデンマイアー マルクス
IPC分类号： G01N27/00
CPC分类号： G01N27/414 , G01N27/4141 , G01N33/0013
摘要： 本発明は、ガス混合気中のガス成分を検出するためのガスセンサのセンサ素子に関している。 ここでは電界効果トランジスタ及び／又はダイオードが含まれており、検出すべきガスと接触した場合に電流通流に変化を生じ、さらに保護キャップによってガス混合気の直接の進入から保護されるように固定されている。 さらに前記保護キャップ（１８）は、加熱手段（２４）と、ガラス形成剤（３４）及び／又は酸化触媒コンバータ（３２）を有している。
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公开(公告)号：JP4976551B2
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：JP2010517341
申请日：2008-07-03
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , リーマースドルフ ディルク , レ−フー マルティン , フィックス リヒャルト
IPC分类号： G01N27/414
CPC分类号： G01N27/4148
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公开(公告)号：JP2010507018A
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：JP2009532777
申请日：2007-10-12
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , ヴィデンマイアー マルクス
IPC分类号： C23C26/00
CPC分类号： C23C26/00 , C23C18/1208 , C23C18/1241 , C23C18/1254 , C23C18/1295 , C23C24/00 , G01N27/414
摘要： 本発明は、多孔質の金属層（１）を安定化しかつ機能化するための方法に関し、この場合この多孔質の金属層（１）は、金属マトリックス（３）中に含まれている細孔（５）を有する金属マトリックス（３）を含む。 第１の工程でセラミック材料（７）またはセラミック材料（７）の前駆体は、金属マトリックス（３）の細孔（５）中に導入され、第２の工程でセラミック材料の前駆体は、場合によってはセラミック材料（７）に変換され、引続き場合によっては多孔質の金属層の熱的または化学的な後処理が行なわれる。 更に、本発明は、細孔（５）を金属マトリックス（３）中に含む、殊に半導体トランジスタのゲート電極のための多孔質の金属層に関する。 金属マトリックス（３）の細孔（５）中には、セラミック材料が含有されている。
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公开(公告)号：JP2012503303A
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：JP2011526435
申请日：2009-07-15
发明人： マルティン アレクサンダー , クラウス アンドレアス , クンツ デニス , フィックス リヒャルト
IPC分类号： H01L23/52 , H01L21/3205
CPC分类号： H01L23/53223 , H01L21/7685 , H01L21/76885 , H01L23/53252 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本発明は、基板（３）上に、導電性材料（９）から成る少なくとも１つの構造化された層（１５）を含む電子構成部分に関する。 ここでは導電性材料（９）から成る構造化された層（１５）の上に、第２の材料（１１）から成る保護層（１７）が被着される。 この第２の材料（１１）は、前記構造化された層（１５）の導電性材料（９）よりも、よりイオン化傾向が大きい。 さらに本発明は、電子構成部分（１）の製造方法に関する。 ここでは第１のステップにおいて、導電性材料（９）から成る構造化された層（１５）を基板（３）上に被着し、第２のステップにおいて、前記構造化された層（１５）の導電性材料（９）よりもイオン化傾向がより大きい第２の材料（１１）から成る保護層（１７）を、前記構造化された層（１５）の上に被着する。
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公开(公告)号：JP2010534326A
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：JP2010517341
申请日：2008-07-03
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , リーマースドルフ ディルク , レ−フー マルティン , フィックス リヒャルト
IPC分类号： G01N27/414 , H01L29/786
CPC分类号： G01N27/4148
摘要： 本発明は、流体流に含まれる少なくとも１つの物質を検出する装置に関しており、この装置は、測定センサとしての少なくとも１つの電界効果トランジスタ（３）と、基準素子として機能する少なくとも１つの電界効果トランジスタ（１）とを含んでおり、上記の電界効果トランジスタ（１，３）はそれぞれ少なくとも１つのソース電極（Ｓ）と、ドレイン電極（Ｄ）と、ゲート電極（Ｇ）とを有している。 測定センサとして機能する電界効果トランジスタ（３）のゲート電極（Ｇ）は、少なくとも１つの検出すべき物質を感知し、基準素子として機能する電界効果トランジスタ（１）のゲート電極（Ｇ）は、少なくとも１つの検出すべき物質に対して実質的に感知しない。 上記の複数の電界効果トランジスタ（１，３）のうちの１つの電界効果トランジスタのソース電極（Ｓ）と、複数の電界効果トランジスタ（１，３）のうちの別の１つの電界効果トランジスタのドレイン電極（Ｄ）とが互いに接続されかつ１つの信号線路（５）に接続されている。
さらに本発明は、上記の装置を使用して、流体流に含まれる少なくとも１つの物質を検出する方法に関しており、上記の信号線路（５）に０Ｖの電位が加えて、この信号線路（５）に流れる電流を測定する。-
公开(公告)号：JP2010517280A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：JP2009546708
申请日：2008-01-09
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , フィックス リヒャルト
IPC分类号： H01L21/28 , H01L29/423
CPC分类号： H01L23/4827 , G01N27/414 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
摘要： 本発明は、半導体材料からなる基板（３）上に金属層（９）を有する電子的構成部材に関し、この場合金属層（９）と基板（３）との間には、拡散遮断層（７）が形成されており、この拡散遮断層は、金属層（９）の金属に対して小さな拡散係数を有する材料から完成されている。
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公开(公告)号：JP2010506051A
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：JP2009531835
申请日：2007-10-10
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , ヴィデンマイアー マルクス , フィックス リヒャルト
IPC分类号： B22F7/04 , B22F3/11 , C04B38/06 , G01N27/414 , H01L21/288 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/786
CPC分类号： C23C18/02 , C23C18/08 , C23C18/1208 , C23C18/122 , C23C18/127 , C23C18/14 , C23C24/08 , C23C26/00 , G01N27/4141
摘要： A method for producing at least one porous layer on a substrate, whereby a suspension, which contains particles from a layer-forming material or molecular precursors of the layer-forming material, as well as at least one organic component, is applied to the substrate, the precursors of the layer-forming material are subsequently reacted to produce the layer-forming material following application to the substrate, in a next step, the particles from the layer-forming material are sintered, and the at least one organic component is subsequently removed. Also, a field-effect transistor having at least one gate electrode, the gate electrode having an electrically conductive, porous coating which was applied in accordance with the method.
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公开(公告)号：JP5340390B2
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：JP2011526436
申请日：2009-07-16
发明人： ヴァール トーマス , ヴォルスト オリヴァー , マルティン アレクサンダー
IPC分类号： G01N27/04 , G01N27/414
CPC分类号： G01N27/4141
摘要： In a method for producing a sensor element including at least one sensitive component, a masking layer made of a material which is thermally decomposable without residue is applied to the sensitive component, the sensitive component being essentially covered by the masking layer, a protective layer made of a temperature-stable material is applied to the masking layer, and the masking layer is removed by pyrolysis or a low-temperature-guided oxygen plasma. The resulting sensor element includes at least one sensitive component covered by a protective layer made of a temperature-stable material, the sensitive component and the protective layer being placed at a distance from each other.
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公开(公告)号：JP2012503171A
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：JP2011526436
申请日：2009-07-16
发明人： マルティン アレクサンダー , ヴォルスト オリヴァー , ヴァール トーマス
IPC分类号： G01N27/04 , G01N27/414
CPC分类号： G01N27/4141
摘要： 本発明は、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）を有し、上記感受性の構成部材（３）上に熱的に残らず分解可能な材料からなるマスキング層（３１）を設け、上記感受性の構成部材（３）を上記マスキング層（３１）によりほぼ完全に覆い、上記マスキング層（３１）上に温度安定性の材料からなる保護層（３３）を設け、上記マスキング層（３１）を熱分解又は低温運転する酸素プラズマによって除去するセンサ素子（１）の製造方法に関する。 本発明は、更に、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）及び温度安定性の材料からなる保護層（３３）を有し、上記感受性の構成部材（３）は上記温度安定性の材料からなる上記保護層（３３）により覆われていて、上記感受性の構成部材（３）及び上記保護層（３３）は互いに間隔を空けて配置されている、センサ素子に関する。
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