公开(公告)号：JP5817524B2

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：JP2011289492

申请日：2011-12-28

申请人： 三菱瓦斯化学株式会社

发明人： 越後 雅敏 ,  高須賀 大晃 ,  山川 雅子

IPC分类号： G03F7/038 ,  C07C39/15 ,  C07C37/20 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP6268677B2

公开(公告)日：2018-01-31

申请号：JP2014542162

申请日：2013-10-16

申请人： 三菱瓦斯化学株式会社

发明人： 高須賀 大晃 ,  越後 雅敏 ,  岡田 悠 ,  落合 ゆみ

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07C39/17 ,  G03F7/038

CPC分类号： G03F7/027 ,  C07C39/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/92 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2016109775A

公开(公告)日：2016-06-20

申请号：JP2014245107

申请日：2014-12-03

申请人： 三菱瓦斯化学株式会社

发明人： 高須賀 大晃

IPC分类号： G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  G03F7/038

摘要： 【課題】レジスト性能を高いレベルで維持しつつ、酸発生剤の添加量を大幅に低減可能なレジスト組成物を提供する。 【解決手段】レジスト基材を含む固形成分と溶媒とを含有するレジスト組成物であって、該組成物中の固形成分が1〜80質量%、溶媒が20〜99質量%の範囲であり、該レジスト基材が特定構造を有する環状化合物(M)と特定の環状化合物(S)とを含有し、該レジスト基材に占めるMの割合が65〜99質量%であり、かつMに対するSの質量比率が0.01〜0.10であることを特徴とするレジスト組成物。 【選択図】なし

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种抗蚀剂组合物，其中可以显着降低酸产生剂的添加量，同时保持高水平的抗蚀剂性能。解决方案：抗蚀剂组合物包含含有抗蚀剂基材的固体组分和溶剂 其中固体成分和溶剂的含量分别为1〜80质量％和20〜99质量％。 抗蚀剂基材包含具有特定结构的环状化合物（M）和特定的环状化合物（S）; 抗蚀剂基材中的M的比例为65〜99质量％。 S与M的质量比为0.01〜0.10。选择图：无

公开(公告)号：JP6519469B2

公开(公告)日：2019-05-29

申请号：JP2015521405

申请日：2014-05-28

申请人： 三菱瓦斯化学株式会社

发明人： 高須賀 大晃 ,  越後 雅敏 ,  岡田 悠 ,  落合 ゆみ

IPC分类号： G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP5857745B2

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：JP2011543109

申请日：2010-11-25

申请人： 三菱瓦斯化学株式会社

发明人： 高須賀 大晃 ,  越後 雅敏 ,  岡田 悠

IPC分类号： C07C41/30 ,  G03F7/038 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  C07C43/253

CPC分类号： G03F7/0382 ,  C07C41/30 ,  C07C43/23 ,  C07C43/253 ,  C07C2101/14