位相差計測装置、ビーム出力装置および位相差計測方法

    公开(公告)号:JP2021163805A

    公开(公告)日:2021-10-11

    申请号:JP2020061991

    申请日:2020-03-31

    IPC分类号: H01S3/10 H01S3/00

    摘要: 【課題】高出力で高品質なレーザ光を生成するためにレーザ光の位相差を計測する。 【解決手段】位相差計測装置は、位相変換装置と、検出装置とを具備する。位相変換装置は、通過する第1レーザ光を、通過した第1レーザ光の光軸に直交する任意の仮想平面に含まれる第1レーザ光の断面において方位角方向に一周期分の位相分布を含むように変換する。検出装置は、位相変換装置を通過した第1レーザ光のうちの少なくとも一部と、第1レーザ光が由来する種光としてのレーザ光に由来する第2レーザ光のうちの、第1レーザ光のうちの少なくとも一部と同じ強度の一部とによる干渉パターンの強度重心の方位角を検出し、方位角に基づいて第1レーザ光に対する第2レーザ光のビーム間位相差を検出する。 【選択図】図1

    レーザービーム照射装置及びレーザービーム照射システム

    公开(公告)号:JP2019029435A

    公开(公告)日:2019-02-21

    申请号:JP2017145402

    申请日:2017-07-27

    摘要: 【課題】複数のレーザービームを結合して高出力の合成レーザービームを得る。 【解決手段】レーザービーム照射装置が、それぞれが第1レーザービームを出射する複数のレーザー光源と、第1レーザービームが入射される入射面を有し、第1レーザービームにそれぞれに対応する第2レーザービームを出射する集光光学系とを具備する。複数のレーザー光源は、第1レーザービームのビーム径が該入射面に向けて広がるように第1レーザービームを出射するように構成されている。第1レーザービームのそれぞれは、集光光学系の入射面において、他の少なくとも一のレーザービームに重なり合っている。集光光学系は、第2レーザービームのいずれについても、ビーム径が目標面において最小になり、且つ、該目標面における第2レーザービームの中心から光軸までの距離が、第2レーザービームのそれぞれのビーム半径よりも小さくなるように構成されている。 【選択図】図1