公开(公告)号：JP3581279B2

公开(公告)日：2004-10-27

申请号：JP29122699

申请日：1999-10-13

申请人： 于 強 ,  日本たばこ産業株式会社 ,  正樹 白鳥

发明人： 強 于 ,  徹 入佐 ,  裕 奥本 ,  正樹 白鳥

IPC分类号： G01N3/08 ,  G01N3/00 ,  G01N3/24 ,  G01N3/38

公开(公告)号：JP3500338B2

公开(公告)日：2004-02-23

申请号：JP29122799

申请日：1999-10-13

申请人： 強 于 ,  日本たばこ産業株式会社 ,  正樹 白鳥

发明人： 強 于 ,  徹 入佐 ,  裕 奥本 ,  正樹 白鳥

IPC分类号： G01N3/04 ,  G01N3/38 ,  G01N19/04 ,  H01L21/66