公开(公告)号：JP2018206505A

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：JP2017107477

申请日：2017-05-31

Applicant: 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

Inventor： 松下 浩 ,  大北 義明

IPC: H01J37/04 ,  H01L21/265 ,  H01J37/317

Abstract: 【課題】比較的高いエネルギーをもつイオンビームの使用に起因して生じうる核反応に対処する。 【解決手段】イオン注入装置100は、第1非放射性核種のイオンを含むイオンビームを生成するよう構成されたイオン源と、第1非放射性核種と異なる第2非放射性核種を含む固体材料で形成されたイオンビーム被照射体70を支持するよう構成されたビームラインと、第1非放射性核種と第2非放射性核種の核反応により発生する放射線の推定線量と放射性核種の推定生成量の少なくとも一方を演算するよう構成された制御装置50と、を備える。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP2021036526A

公开(公告)日：2021-03-04

申请号：JP2020178323

申请日：2020-10-23

Applicant: 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

Inventor： 松下 浩 ,  大北 義明

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/261 ,  H01J37/317

Abstract: 【課題】比較的高いエネルギーをもつイオンビームの使用に起因して生じうる核反応に対処する。 【解決手段】イオン注入装置100は、第1非放射性核種のイオンを含むイオンビームを生成するよう構成されたイオン源と、第1非放射性核種と異なる第2非放射性核種を含む固体材料で形成されたイオンビーム被照射体70を支持するよう構成されたビームラインと、第1非放射性核種と第2非放射性核種の核反応により発生する放射線の推定線量と放射性核種の推定生成量の少なくとも一方を演算するよう構成された制御装置50と、を備える。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP6785189B2

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：JP2017107477

申请日：2017-05-31

Applicant: 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

Inventor： 松下 浩 ,  大北 義明

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317