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发明专利
イオン注入方法およびイオン注入装置有权
Title translation: 离子注入法，离子注入装置

公开(公告)号：JP5941377B2

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：JP2012192420

申请日：2012-08-31

Applicant: 住友重機械イオンテクノロジー株式会社

Inventor： 二宮史郎 , 香川唯信 , 弓山敏男 , 舩井晃 , 黒田隆之

IPC: H01J37/317 , H01L21/265

CPC classification number: H01L22/14 , C23C14/48 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/0206

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