公开(公告)号：JP6402273B1

公开(公告)日：2018-10-10

申请号：JP2018096422

申请日：2018-05-18

Applicant: 大塚電子株式会社

Inventor： 新家 俊輝 ,  川口 史朗 ,  井上 展幸

IPC: G01B11/06

Abstract: 【課題】試料における一方の表面に対して光を照射する光学測定装置において、プローブと試料との間の距離と、試料の膜厚と、を測定する。 【解決手段】本開示の厚み測定装置は、参照面を有する透過光学部材を含み、前記参照面を介して試料に光を照射し、前記参照面からの第1の反射光、前記試料の表面からの第2の反射光、及び前記試料の裏面からの第3の反射光を受光するプローブと、前記第1の反射光と前記第2の反射光により生じる第1の反射干渉光を用いて、前記参照面から前記試料の表面までの第1の距離を算出し、前記第2の反射光と前記第3の反射光により生じる第2の反射干渉光を用いて、前記試料の厚みを算出する演算部と、を含む。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021067611A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：JP2019194654

申请日：2019-10-25

Applicant: 大塚電子株式会社

Inventor： 新家 俊輝 ,  井上 展幸 ,  大川内 真 ,  岡本 宗大 ,  川口 史朗 ,  水口 勉

IPC: G01N21/45 ,  G01J3/06 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G01N21/27

Abstract: 【課題】測定波長範囲が狭く、測定波長範囲に十分な数の基準輝線を含めることができない場合でも波長校正が可能な新たな手法を提供する。 【解決手段】光学測定装置は、測定光を発生する光源と回折格子により波長分離された光を受光する、整列配置された複数の受光素子からなる受光器と標準試料の既知の厚み、屈折率および消衰係数に基づいて数学的に算出される、標準試料の反射率または透過率の理論干渉スペクトル取得手段と、測定光を標準試料に照射して生じる反射光または透過光を回折格子を介して受光器で受光することで生成される反射率または透過率の実測干渉スペクトル取得手段と、理論干渉スペクトルと実測干渉スペクトルとの波長の対応付け情報取得手段と、複数の受光素子の波長値を規定する波長校正式を実測干渉スペクトルに適用した結果が理論干渉スペクトルと一致するように対応付け情報を参照して、波長校正式を決定する波長校正手段とを含む。 【選択図】図6

公开(公告)号：JP2019200185A

公开(公告)日：2019-11-21

申请号：JP2018096422

申请日：2018-05-18

Applicant: 大塚電子株式会社

Inventor： 新家 俊輝 ,  川口 史朗 ,  井上 展幸

IPC: G01B11/06

Abstract: 【課題】試料における一方の表面に対して光を照射する光学測定装置において、プローブと試料との間の距離と、試料の膜厚と、を測定する。 【解決手段】本開示の厚み測定装置は、参照面を有する透過光学部材を含み、前記参照面を介して試料に光を照射し、前記参照面からの第1の反射光、前記試料の表面からの第2の反射光、及び前記試料の裏面からの第3の反射光を受光するプローブと、前記第1の反射光と前記第2の反射光により生じる第1の反射干渉光を用いて、前記参照面から前記試料の表面までの第1の距離を算出し、前記第2の反射光と前記第3の反射光により生じる第2の反射干渉光を用いて、前記試料の厚みを算出する演算部と、を含む。 【選択図】図1