公开(公告)号：JP4089820B2

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：JP2003099467

申请日：2003-04-02

Applicant: 日本発条株式会社

Inventor： 真也 宮地 ,  慎二 斉藤 ,  新衛 陳

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6831

公开(公告)号：JP3910145B2

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：JP2003000329

申请日：2003-01-06

Applicant: 日本発条株式会社

Inventor： 真也 宮地 ,  慎二 斉藤

IPC: C23C4/10

CPC classification number: C23C4/11

公开(公告)号：JP3937004B2

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：JP32814098

申请日：1998-11-18

Applicant: 日本発条株式会社

Inventor： 淳 二口谷 ,  努 天河 ,  賢三 安田 ,  真也 宮地 ,  慎二 斉藤 ,  利弘 杉沢 ,  貴 真崎 ,  秀典 石渡

IPC: H05B3/20 ,  H01L21/00 ,  H05B3/18 ,  H05B3/28 ,  H05B3/30

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/283 ,  H05B3/30