-
公开(公告)号：JPWO2020066589A1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：JP2019035481
申请日：2019-09-10
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H02N13/00 , C04B35/74 , H01L21/683
Abstract: 本実施形態のウエハ載置台の製法は、(a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュ22の網目部分22aに充填し、ゲル化剤を化学反応させてセラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュ20を作製する工程と、(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体31と第2セラミック仮焼体32との間にセラミック充填メッシュ20を挟み込むことにより積層体40を作製する工程と、(c)積層体40をホットプレス焼成することによりウエハ載置台10を作製する工程と、を含む。
-
公开(公告)号：JP6373212B2
公开(公告)日：2018-08-15
申请号：JP2015063671
申请日：2015-03-26
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/111
CPC classification number: B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/62625 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/634 , C04B35/638 , C04B2103/408 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/72 , C04B2235/77 , C04B2235/784 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/343
-
公开(公告)号：JP6754514B1
公开(公告)日：2020-09-09
申请号：JP2020528479
申请日：2020-02-04
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: セラミックヒータ10は、セラミックプレート20を備えている。外周側抵抗発熱体26は、セラミックプレート20の外周側ゾーンZ2に設けられている。ワイヤ線24は、セラミックプレート20の中央部に設けられた一対の端子23,23のそれぞれから外周側ゾーンZ2へ向かって延び出し、外周側ゾーンZ2に近い部分は直線部になっている。接続端子25は、ワイヤ線24と外周側抵抗発熱体26とを接続する導電性の部材であり、ワイヤ線24の直線部が挿入された第1穴と、外周側抵抗発熱体26の端部が挿入された第2穴とを有する。
-
公开(公告)号：JP6676835B1
公开(公告)日：2020-04-08
申请号：JP2020503344
申请日：2019-09-10
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本実施形態のウエハ載置台の製法は、(a)セラミック粉末とゲル化剤とを含むセラミックスラリーを金属メッシュ22の網目部分22aに充填し、ゲル化剤を化学反応させてセラミックスラリーをゲル化させた後、脱脂、仮焼することによりセラミック充填メッシュ20を作製する工程と、(b)モールドキャスト成形したあと仮焼して得られた第1セラミック仮焼体31と第2セラミック仮焼体32との間にセラミック充填メッシュ20を挟み込むことにより積層体40を作製する工程と、(c)積層体40をホットプレス焼成することによりウエハ載置台10を作製する工程と、を含む。
-
-
Patent Agency Ranking
-
-
公开(公告)号：JP5972630B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2012072260
申请日：2012-03-27
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/622 , C04B41/88 , H05B3/74 , H02N13/00 , H01L21/683
CPC classification number: C04B35/645 , B32B18/00 , C04B35/111 , C04B35/581 , C04B35/6264 , C04B35/63456 , C04B35/63488 , C04B2235/3206 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3232 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/6023 , C04B2235/661 , C04B2235/784 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , C04B2235/9638 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L21/6833 , Y10T279/23
-
公开(公告)号：JPWO2020189264A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：JP2020009002
申请日：2020-03-03
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H05B3/02 , H05B3/74 , C04B37/00 , H01L21/683
Abstract: セラミックヒータ10は、上面にウエハ載置面20aが設けられ内部に抵抗発熱体24が埋設されたセラミック製のプレート20と、上端がプレート20の下面に接合されたセラミック製の筒状シャフト40と、筒状シャフト40の周壁部を上下方向に貫通して抵抗発熱体24と電気的に接続された給電部材54a,54bと、を備えている。給電部材54a,54bは、筒状シャフト40の周壁部に埋設され、筒状シャフト40のセラミック材料と密着している。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
16
records
(took 0.02 seconds)
