公开(公告)号：JP2021116218A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：JP2020012343

申请日：2020-01-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 永井 明日美 ,  西村 昇 ,  山口 浩文

IPC: C04B35/577 ,  C04B37/00 ,  H01L21/683 ,  C04B35/58

Abstract: 【課題】アルミナとの線熱膨張係数差がきわめて小さく、熱伝導率、緻密性及び強度が十分高いという特性を有する、焼結性の高い材料を提供する。 【解決手段】本発明の緻密質複合材料は、珪化チタンを43〜63質量%含有すると共に、炭化珪素及び炭化チタンをそれぞれ珪化チタンの質量%よりも少量含有し、炭化珪素の粒子間距離の最大値が40μm以下で標準偏差が10以下であり、開気孔率が1%以下のものである。 【選択図】なし

公开(公告)号：JPWO2019163710A1

公开(公告)日：2021-03-04

申请号：JP2019005853

申请日：2019-02-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 永井 明日美 ,  井上 勝弘 ,  勝田 祐司

IPC: H01B3/12 ,  H01L21/683 ,  C04B35/117

Abstract: 複合焼結体の製造方法は、Al 2 O 3 とSiCとMgOとを混合した混合粉末を、所定形状の成形体に成形する工程(ステップS11)と、当該成形体を焼成して複合焼結体を生成する工程(ステップS12)とを備える。そして、ステップS11において、混合粉末に対するSiCの割合は、4.0重量%以上かつ13.0重量%以下である。また、ステップS11におけるAl 2 O 3 の純度は、99.9%以上である。これにより、Al 2 O 3 の異常粒成長を抑制することができるとともに、高い比誘電率および耐電圧、並びに、低いtanδを有する複合焼結体を好適に製造することができる。

公开(公告)号：JP6697363B2

公开(公告)日：2020-05-20

申请号：JP2016189843

申请日：2016-09-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 永井 明日美 ,  西村 昇 ,  勝田 祐司

IPC: C04B35/582 ,  C04B37/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

公开(公告)号：JP2021155293A

公开(公告)日：2021-10-07

申请号：JP2020058647

申请日：2020-03-27

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 永井 明日美 ,  西村 昇 ,  山口 浩文

IPC: C04B35/582 ,  C04B35/597 ,  H01L21/683 ,  C04B37/00

Abstract: 【課題】積層構造体において熱応力に起因する接合部の損傷を抑制する。 【解決手段】積層構造体10は、AlNおよびMgAl 2 O 4 を主相として含む複合焼結体により形成される第1構造体と、セラミックス焼結体により形成され、当該第1構造体に積層されて接合される第2構造体と、を備える。そして、当該第1構造体と当該第2構造体との線熱膨張係数の差は、0.3ppm/K以下である。これにより、熱応力に起因する第1構造体と第2構造体との接合部の損傷を抑制することができる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JPWO2019188148A1

公开(公告)日：2021-04-08

申请号：JP2019009511

申请日：2019-03-08

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 阿閉 恭平 ,  西村 昇 ,  永井 明日美 ,  勝田 祐司

IPC: H01L21/683 ,  C04B35/117

Abstract: 複合焼結体は、Al 2 O 3 と、MgAl 2 O 4 とを備える。当該複合焼結体におけるAl 2 O 3 の含有率は、95.5重量%以上である。当該複合焼結体におけるAl 2 O 3 の平均焼結粒径は、2μm以上かつ4μm以下である。当該複合焼結体におけるAl 2 O 3 の焼結粒径分布の標準偏差は、0.35以下である。当該複合焼結体の嵩密度は、3.94g/cm 3 以上かつ3.98g/cm 3 以下である。当該複合焼結体におけるMgAl 2 O 4 とAl 2 O 3 との結晶相量の比は、0.003以上かつ0.01以下である。これにより、高い耐電圧および高い体積抵抗率を有する複合焼結体を提供することができる。