画像取得方法、測定方法および画像取得装置

    公开(公告)号:JP2019191112A

    公开(公告)日:2019-10-31

    申请号:JP2018087428

    申请日:2018-04-27

    IPC分类号: G01N21/892

    摘要: 【課題】シート状または板状の対象物から厚さまたは表面形状の変化の特性を示す画像を取得する。 【解決手段】対象物の面が予め定められたXY平面に対して垂直、かつ、製造時の搬送方向に対応する方向がXY平面に対して平行となるように対象物が保持され、さらに、対象物の面の法線とX方向とのなす角度が、初期の角度となるように対象物が配置される(ステップS11)。平行光がX方向から対象物に照射される(ステップS12)。対象物を透過してスクリーンに投影された像を撮像部が画像として取得する(ステップS13)。次に、対象物の面の法線とX方向とのなす角度を変更しつつ撮像部による画像取得を繰り返すことにより、複数の画像が取得される(ステップS13〜S15)。 【選択図】図5