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公开(公告)号：JP2018109568A
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：JP2017000402
申请日：2017-01-05
申请人： 東レエンジニアリング株式会社 , 京都府公立大学法人 , 株式会社右近工舎 , 有限会社オプトニカ
摘要： 【課題】所定の領域を構成する構造体の特定を短時間で精度よく正確に行うことができる分光測定方法および分光測定装置を提供する。 【解決手段】試料Sに撮影用照明光L3を照射し、分光用照明光であるレーザー光L1を複数の箇所に照射する照射工程と、試料Sの形態とレーザー光L1の複数の照射点とからなる画像Vを取得する画像取得工程と、レーザー光L1によって励起される光を分光測定する分光測定工程と、試料Sの画像Vにおいて、画像情報から同一の構造体で構成される画像領域である第1画像領域Ar1等を抽出し、抽出した各画像領域を閉領域として分割する画像処理工程と、分光測定結果を各画像領域に分割された試料Sの画像におけるレーザー光L1の照射点に重ね合わせ、各画像領域内におけるレーザー光L1の複数の照射点の分光測定結果に基づいて各画像領域の構造体を特定する領域判定工程と、から構成される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017181183A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016065971
申请日：2016-03-29
申请人： 東レエンジニアリング株式会社 , 京都府公立大学法人 , 株式会社右近工舎 , 有限会社オプトニカ
IPC分类号： G01N21/65
摘要： 【課題】レーザー光の照射点毎にレーザー光の焦点を試料の表面に合わせることができるプローブを提供することである。 【解決手段】ラマン散乱光L2を励起するレーザー光L1の出射口5aにレーザー光L1によって励起されるラマン散乱光L2が入射されるプローブ5であって、レーザー光L1の出射口5aおよびラマン散乱光L2の入射口5aを覆うようにレーザー光L1とラマン散乱光L2とが透過可能なスペーサー10が設けられ、スペーサー10における結像レンズ9の主平面Hからの焦点距離fの位置であるレーザー光L1の焦点位置に試料Sとの接触面10aが形成される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017181182A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016065970
申请日：2016-03-29
申请人： 東レエンジニアリング株式会社 , 京都府公立大学法人 , 株式会社右近工舎 , 有限会社オプトニカ
IPC分类号： G01N21/65
摘要： 【課題】光源からのレーザー光が試料に至るまでの間に生じる損失および試料からの反射光がカメラに至るまでの間に生じる損失を抑制することができる分光測定装置を提供することである。 【解決手段】全反射ミラー6とダイクロイックミラー7とがレーザー光L1の光軸上に配置されており、レーザー光源2からのレーザー光L1が、全反射ミラー6のピンホール6aを通過して試料Sに照射され、試料Sに照射されたレーザー光L1によって励起される光がダイクロイックミラーに反射されて分光器10に入射され、観察用照明光源14からの観察用照明光L3が、全反射ミラー6に反射されてレーザー光L1の光軸に観察用照明光L3の光軸を一致させた状態で試料Sに照射され、試料Sから反射した観察用照明光L3が、その光軸をレーザー光L1の光軸に一致させた状態で全反射ミラー6に反射されて観察用カメラ13に入射される。 【選択図】図1
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