公开(公告)号：JP6040883B2

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：JP2013152765

申请日：2013-07-23

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 森川 勝洋 ,  須中 郁雄 ,  中野 征二 ,  倉富 一紀 ,  島津 利郎

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67772

公开(公告)号：JP5793527B2

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：JP2013064702

申请日：2013-03-26

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 友安 義修 ,  大谷 陽介 ,  鈴木 淳司 ,  林 徳太郎 ,  倉富 一紀

IPC: H01L21/677