Patent search ap:("株式会社ルネサステクノロジ") AND inv:"正昭難波" Page 1

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发明专利
A method of manufacturing a semiconductor device 有权

公开(公告)号：JP3813772B2

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：JP27180399

申请日：1999-09-27

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 英生三浦 , 雄二和田 , 俊雄宮武 , 達也永田 , 竜治河野 , 浩也清水 , 敦細金 , 喜重遠藤 , 昌敏金丸 , 正昭難波

IPC: G01R31/26 , G01R1/04 , G01R1/073 , H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0483 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

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