公开(公告)号：JP3741222B2

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：JP51880899

申请日：1998-09-18

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 一真 三浦 ,  雄二 和田 ,  健一 山本 ,  進 春日部 ,  英夫 有馬 ,  正訓 柴本 ,  賢一郎 森永 ,  弘二 芹沢 ,  邦彦 西 ,  昭男 長谷部

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/06 ,  H01L21/66 ,  H01L23/32 ,  H05K3/32

CPC classification number: H01L23/32 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/15311 ,  H05K3/325 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JP4099412B2

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：JP2003075429

申请日：2003-03-19

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 雄二 和田 ,  照雄 庄司 ,  康則 成塚 ,  進 春日部 ,  正和 末吉 ,  康博 本山 ,  照享 森 ,  明 薮下 ,  健彦 長谷部 ,  昭男 長谷部

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R31/2872 ,  Y10T29/41 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/49147 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49169 ,  Y10T29/49798

公开(公告)号：JPWO2006038257A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：JP2006539088

申请日：2004-09-30

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 和田　雄二 ,  雄二 和田 ,  尚宏 槇平 ,  尚宏 槇平 ,  正康 赤岩 ,  正康 赤岩

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/60 ,  H01L21/66 ,  H01L23/12

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07307

Abstract: チップの主面(バンプ電極形成面)において、バンプ電極11の形成されていない領域において複数の測定点を設定し、それら複数の測定点における高さを求め、その高さの情報をもとに最小二乗法による回帰計算を実施し、最小二乗平面SSを設定する。次いで、複数のバンプ電極11のそれぞれについて、この最小二乗平面SSからの高さh21、h22、h23等を求め、この高さh21、h22、h23等をもとにして複数のバンプ電極11の高さが基準値以内か否かの判定、および複数のバンプ電極11の平坦度が基準値以内か否かの判定を行う。

公开(公告)号：JP3686301B2

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：JP2000028892

申请日：2000-02-01

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 雄二 和田 ,  進 春日部 ,  昭男 長谷部

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/02

公开(公告)号：JP3813772B2

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：JP27180399

申请日：1999-09-27

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ

Inventor： 英生 三浦 ,  雄二 和田 ,  俊雄 宮武 ,  達也 永田 ,  竜治 河野 ,  浩也 清水 ,  敦 細金 ,  喜重 遠藤 ,  昌敏 金丸 ,  正昭 難波

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/04 ,  G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0483 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00