公开(公告)号：JPWO2020079572A1

公开(公告)日：2021-12-23

申请号：JPIB2019058754

申请日：2019-10-15

Applicant: 株式会社半導体エネルギー研究所

Inventor： 佐藤 絵莉 ,  大貫 達也 ,  八窪 裕人 ,  國武 寛司

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/088 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L27/06 ,  G01R19/00 ,  H03F3/45

Abstract: 微小な電流の測定が可能な半導体装置を提供する。オペアンプと、ダイオード素子と、を有する半導体装置であって、電流が入力される第1端子には、オペアンプの反転入力端子と、ダイオード素子の入力端子と、が電気的に接続され、電圧が出力される第2端子には、オペアンプの出力端子と、ダイオード素子の出力端子と、が電気的に接続されている。ダイオード素子として、チャネル形成領域に金属酸化物を有する、ダイオード接続されたトランジスタを用いる。当該トランジスタのオフ電流は極めて低いため、第1端子‐第2端子間に微小な電流を流すことができる。これにより、第2端子から電圧を出力することで、当該電圧から第1端子に流れる微小な電流を見積もることができる。