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    ステージ装置、及び荷電粒子線装置
    2.
    发明专利
    ステージ装置、及び荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021190349A

    公开(公告)日：2021-12-13

    申请号：JP2020096047

    申请日：2020-06-02

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 高橋 宗大 ,  水落 真樹 ,  中川 周一 ,  柴崎 智隆 ,  小川 博紀 ,  加藤 孝宜

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 【課題】ミラーの曲げ変形を抑制でき、ステージの位置の測定誤差を低減してステージの位置決め誤差を低減できるステージ装置と、このステージ装置を備える荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】本発明によるステージ装置は、試料106を載置するテーブル105と、テーブル105に設置されたバーミラー111と、バーミラー111にレーザ光を照射してバーミラー111からの反射光を受光することによって、テーブル105の位置を測定するレーザ干渉計104と、テーブル105を移動させる駆動機構103と、バーミラー111とテーブル105の間に設置された複数の弾性部材203を備える。 【選択図】図3

    荷電粒子線装置
    4.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021039880A

    公开(公告)日：2021-03-11

    申请号：JP2019160034

    申请日：2019-09-03

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 細渕 啓一郎 ,  水落 真樹 ,  中川 周一 ,  柴崎 智隆 ,  菊池 貴朗

    IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/18

    Abstract: 【課題】 本開示は、予備排気に伴って発生する装置への影響を抑制することが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、荷電粒子線の照射対象である試料周囲の雰囲気を真空状態に維持する真空試料室(200)と、真空試料室に導入される試料雰囲気を真空にするための真空ポンプが接続された予備排気室(100)を備えた荷電粒子線装置であって、前記真空試料室は、天板(203)を含む箱状体であって、当該天板と当該天板の下方に位置する箱状体の側壁(210)との間には、当該天板と側壁が非接触となる部分(209)が含まれている荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図4

    荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料アライメント方法
    6.
    发明专利
    荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料アライメント方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021131985A

    公开(公告)日：2021-09-09

    申请号：JP2020026936

    申请日：2020-02-20

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 小川 博紀 ,  水落 真樹 ,  中川 周一 ,  高橋 宗大

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66 ,  H01J37/20

    Abstract: 【課題】ステージ上の試料のアライメントに光学顕微鏡を用いる場合も、高精度なアライメントが可能な荷電粒子線装置及び試料アライメント方法を提供する。 【解決手段】試料を載置する試料ステージ4、5と、試料ステージを駆動制御する制御装置と、試料ステージの位置を検出するリニアスケール12x,12yと、試料ステージの位置を検出するレーザ位置検出手段10x,10yと、試料ステージ上に載置される試料を観察する光学顕微鏡と、試料ステージ上に載置される試料に電子線を照射し二次電子を生成する鏡筒と、を備え、光学顕微鏡により試料ステージ上に載置された第1の補正サンプルの画像データを取得するとともに、レーザ位置検出手段により試料ステージの位置を検出し、光学顕微鏡により取得した画像データおよびレーザ位置検出手段により検出した試料ステージの位置データに基づき鏡筒に対する試料ステージの位置決めを行うことを特徴とする。 【選択図】図5

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