-
公开(公告)号:JP6727311B2
公开(公告)日:2020-07-22
申请号:JP2018535958
申请日:2016-08-23
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/28 , H01J37/153
公开(公告)号:JP6727311B2
公开(公告)日:2020-07-22
申请号:JP2018535958
申请日:2016-08-23
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/28 , H01J37/153