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公开(公告)号：JP6782795B2
公开(公告)日：2020-11-11
申请号：JP2018562747
申请日：2017-01-17
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/20
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公开(公告)号：JP2020173904A
公开(公告)日：2020-10-22
申请号：JP2019073517
申请日：2019-04-08
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: G01B15/04 , H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244
Abstract: 【課題】形成されたパターンの断面形状を簡便に推定することを可能にする技術を提供する。 【解決手段】本開示は、荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを走査する走査偏向器と、試料に対する前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、検出器の前段に配置され、検出すべき荷電粒子を角度で弁別する角度弁別器と、を含む荷電粒子線装置と、検出器の出力に基づいて画像の輝度を生成し、当該輝度を用いて画像上の指定された領域の信号波形を演算する演算装置と、を備え、演算装置は、異なる検出角度の信号電子を用いて複数の角度弁別画像を生成し、各角度弁別画像の信号波形から算出したパターン寸法の検出角度に対する変化に基づいて測定対象パターンの側壁形状を推定する、パターン断面形状推定システムを提供する。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6737539B2
公开(公告)日：2020-08-12
申请号：JP2019031267
申请日：2019-02-25
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/28 , H01J37/153
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公开(公告)号：JP6896667B2
公开(公告)日：2021-06-30
申请号：JP2018046214
申请日：2018-03-14
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N23/2255 , H01J37/22
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公开(公告)号：JP6727311B2
公开(公告)日：2020-07-22
申请号：JP2018535958
申请日：2016-08-23
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/28 , H01J37/153
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公开(公告)号：JP6882972B2
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：JP2017205279
申请日：2017-10-24
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/244 , H01J37/22
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公开(公告)号：JPWO2020153074A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：JP2019050318
申请日：2019-12-23
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: H01J37/28 , H01J37/10 , H01J37/153
Abstract: 極子と絶縁材のロウ付けに精度を要求することなく、機械加工の精度で製作することができる多段連結多極子及び荷電粒子線装置を提供する。この多段連結多極子100は、荷電粒子線の光軸方向に沿って配列され且つ対向する面において切り欠きNを有する複数の極子Q1〜Q4と、複数の極子Q1〜Q4の間に配列され絶縁体からなる支柱P1〜P3とを備える。極子Q1〜Q4及び支柱P1〜P3は、切り欠きNにおいて支柱P1〜P3を嵌め込み、接合材を介してロウ付けすることにより接合される。
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